边缘曝光装置和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610506802.9

申请日：

2016-06-30

公开(公告)号：

CN107561864A

公开(公告)日：

2018-01-09

发明(设计)人：

杨金国唐文力王刚郎新科郑教增

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

H01L21027 H01L2166

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-01-09	公开	公开
2019-10-25	授权	授权
2018-02-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20160630

共 50 条

[1]

边缘曝光装置和方法 [P].

牛增欣 ;

郑教增 .

中国专利 :CN106292195A ,2017-01-04

[2]

曝光装置和曝光方法 [P].

长谷川祐哉 ;

小林义则 .

日本专利 :CN119987146A ,2025-05-13

[3]

光刻投影物镜、边缘曝光系统和边缘曝光装置 [P].

程习敏 ;

田翠侠 ;

蓝科 .

中国专利 :CN109856915B ,2019-06-07

[4]

一种边缘曝光装置及边缘曝光方法 [P].

王坦 .

中国专利 :CN107505815A ,2017-12-22

[5]

边缘曝光装置 [P].

于大维 ;

潘炼东 .

中国专利 :CN104678710B ,2015-06-03

[6]

边缘曝光装置 [P].

潘展望 ;

颜廷彪 ;

黄志凯 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208848034U ,2019-05-10

[7]

边缘曝光装置及其控制方法 [P].

蔡巍 ;

徐兵 ;

吕晓薇 ;

李中秋 .

中国专利 :CN101498897A ,2009-08-05

[8]

一种边缘曝光装置及曝光方法 [P].

范真瑞 ;

熊黎 ;

张文轩 ;

陆忠 ;

李承敃 ;

廖鹏宇 ;

林伟 ;

蒋冬华 ;

李炳天 ;

张宇 ;

高胜洲 .

中国专利 :CN105137722A ,2015-12-09

[9]

曝光方法和曝光装置 [P].

桥本博信 ;

高木俊博 ;

三宅健 .

中国专利 :CN101194210B ,2008-06-04

[10]

曝光装置和曝光方法 [P].

朱凤稚 .

中国专利 :CN104614951A ,2015-05-13

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