边缘曝光装置和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510270100.0

申请日：

2015-05-24

公开(公告)号：

CN106292195A

公开(公告)日：

2017-01-04

发明(设计)人：

牛增欣郑教增

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-01-04	公开	公开
2017-02-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101700791101 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2015102701000 申请日:20150524
2017-09-05	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101758683140 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2015102701000 变更事项:申请人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东新区张东路1525号变更后:201203 上海市浦东新区张东路1525号
2018-08-14	授权	授权

共 50 条

[1]

边缘曝光装置和方法 [P].

杨金国 ;

唐文力 ;

王刚 ;

郎新科 ;

郑教增 .

中国专利 :CN107561864A ,2018-01-09

[2]

边缘曝光装置 [P].

于大维 ;

潘炼东 .

中国专利 :CN104678710B ,2015-06-03

[3]

边缘曝光装置及其控制方法 [P].

蔡巍 ;

徐兵 ;

吕晓薇 ;

李中秋 .

中国专利 :CN101498897A ,2009-08-05

[4]

边缘曝光工具以及边缘曝光方法 [P].

王英豪 ;

钟嘉麒 ;

钟含智 ;

林裕翔 ;

林育贤 ;

吴育恒 ;

许瀚文 .

中国专利 :CN109557766A ,2019-04-02

[5]

光刻投影物镜、边缘曝光系统和边缘曝光装置 [P].

程习敏 ;

田翠侠 ;

蓝科 .

中国专利 :CN109856915B ,2019-06-07

[6]

一种边缘曝光装置及边缘曝光方法 [P].

王坦 .

中国专利 :CN107505815A ,2017-12-22

[7]

边缘曝光装置 [P].

潘展望 ;

颜廷彪 ;

黄志凯 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208848034U ,2019-05-10

[8]

晶片边缘曝光模块及晶片边缘曝光方法 [P].

简聪智 ;

陈永镇 ;

李宏仁 .

中国专利 :CN102147572A ,2011-08-10

[9]

曝光装置、曝光方法和物品制造方法 [P].

本岛顺一 .

日本专利 :CN118838124A ,2024-10-25

[10]

曝光装置、曝光方法和物品制造方法 [P].

大阪升 .

中国专利 :CN110286562A ,2019-09-27

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