边缘曝光工具以及边缘曝光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810819829.2

申请日：

2018-07-24

公开(公告)号：

CN109557766A

公开(公告)日：

2019-04-02

发明(设计)人：

王英豪钟嘉麒钟含智林裕翔林育贤吴育恒许瀚文

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹

IPC主分类号：

G03F716

IPC分类号：

G03F720

代理机构：

北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409

代理人：

章社杲;李伟

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-02	公开	公开
2019-04-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/16 申请日:20180724

共 50 条

[1]

边缘曝光工具及使用边缘曝光工具的方法 [P].

吴泳铤 ;

陈裕凯 .

中国专利 :CN114460813A ,2022-05-10

[2]

晶片边缘曝光模块及晶片边缘曝光方法 [P].

简聪智 ;

陈永镇 ;

李宏仁 .

中国专利 :CN102147572A ,2011-08-10

[3]

一种边缘曝光系统和边缘曝光方法 [P].

李煜芝 .

中国专利 :CN104950582B ,2015-09-30

[4]

边缘曝光装置和方法 [P].

牛增欣 ;

郑教增 .

中国专利 :CN106292195A ,2017-01-04

[5]

带边缘曝光保护的工件台 [P].

周清华 .

中国专利 :CN101487990A ,2009-07-22

[6]

曝光设备、曝光方法以及器件制造方法 [P].

金谷有步 .

中国专利 :CN102067038A ,2011-05-18

[7]

曝光方法、测量方法以及曝光装置 [P].

周畅 ;

杨志勇 ;

朱岳彬 ;

徐兵 .

中国专利 :CN109426094B ,2019-03-05

[8]

曝光装置、曝光方法以及装置制造方法 [P].

竹中务 ;

三岛和彦 .

中国专利 :CN104516213B ,2015-04-15

[9]

用于太阳能电池电镀工艺中的曝光设备和边缘曝光的方法 [P].

杨保平 ;

何少锋 .

中国专利 :CN115016231A ,2022-09-06

[10]

曝光装置、图像形成设备以及曝光控制方法 [P].

盐谷康平 ;

宇贺神淳 ;

仓岛哲 ;

堀哲也 ;

崎田智明 .

中国专利 :CN101846926A ,2010-09-29

← 1 2 3 4 5 →