带边缘曝光保护的工件台

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910046830.7

申请日：

2009-02-27

公开(公告)号：

CN101487990A

公开(公告)日：

2009-07-22

发明(设计)人：

周清华

申请人：

申请人地址：

201203上海市张江高科技园区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-09-16	实质审查的生效	实质审查的生效
2011-04-13	授权	授权
2009-07-22	公开	公开
2017-05-31	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101752108432 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2009100468307 变更事项:专利权人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市张江高科技园区张东路1525号变更后:201203 上海市张江高科技园区张东路1525号变更事项:共同专利权人变更前:上海微高精密机械工程有限公司变更后:上海微高精密机械工程有限公司

共 50 条

[1]

双工件台柔性卷带曝光装置及曝光方法 [P].

李志丹 ;

陈勇辉 ;

李会丽 .

中国专利 :CN109856925A ,2019-06-07

[2]

工件台及使用该工件台的曝光装置 [P].

中谷猛 .

中国专利 :CN101794726A ,2010-08-04

[3]

工件台及曝光装置 [P].

崔长植 ;

江德智 .

中国专利 :CN119270596A ,2025-01-07

[4]

双工件台垂直曝光装置 [P].

平洁 .

中国专利 :CN205539932U ,2016-08-31

[5]

边缘曝光工具以及边缘曝光方法 [P].

王英豪 ;

钟嘉麒 ;

钟含智 ;

林裕翔 ;

林育贤 ;

吴育恒 ;

许瀚文 .

中国专利 :CN109557766A ,2019-04-02

[6]

防撞装置、工件台及曝光装置 [P].

丛国栋 ;

张志钢 ;

李志龙 ;

刘屈武 .

中国专利 :CN109856916B ,2019-06-07

[7]

步进式重复曝光光刻机的掩模板工件台及曝光工艺 [P].

朱骏 ;

张旭昇 .

中国专利 :CN102799081A ,2012-11-28

[8]

一种可实现硅片边缘保护的工件台及方法 [P].

李志丹 ;

孟春霞 .

中国专利 :CN106483771B ,2017-03-08

[9]

具有旋转交换双工件台的光刻装置的曝光方法 [P].

顾峥 ;

伍强 ;

李艳丽 .

中国专利 :CN112835271A ,2021-05-25

[10]

具有旋转交换双工件台的光刻装置的曝光方法 [P].

顾峥 ;

伍强 ;

李艳丽 .

中国专利 :CN112835271B ,2024-04-26

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