一种边缘曝光系统和边缘曝光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410109985.1

申请日：

2014-03-24

公开(公告)号：

CN104950582B

公开(公告)日：

2015-09-30

发明(设计)人：

李煜芝

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-09-30	公开	公开
2015-11-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101631737652 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2014101099851 申请日:20140324
2017-05-31	授权	授权
2017-09-26	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101759972739 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2014101099851 变更事项:专利权人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号变更后:201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号

共 50 条

[1]

光刻投影物镜、边缘曝光系统和边缘曝光装置 [P].

程习敏 ;

田翠侠 ;

蓝科 .

中国专利 :CN109856915B ,2019-06-07

[2]

一种边缘曝光系统 [P].

高攀 .

中国专利 :CN208888579U ,2019-05-21

[3]

一种边缘曝光系统及方法 [P].

张立 ;

王向东 .

中国专利 :CN118295218A ,2024-07-05

[4]

边缘曝光工具以及边缘曝光方法 [P].

王英豪 ;

钟嘉麒 ;

钟含智 ;

林裕翔 ;

林育贤 ;

吴育恒 ;

许瀚文 .

中国专利 :CN109557766A ,2019-04-02

[5]

晶圆边缘曝光系统及方法 [P].

崔栽荣 ;

贺晓彬 ;

杨涛 ;

刘金彪 ;

李亭亭 .

中国专利 :CN114355731A ,2022-04-15

[6]

晶圆边缘曝光系统及方法 [P].

崔栽荣 ;

贺晓彬 ;

杨涛 ;

刘金彪 ;

李亭亭 .

中国专利 :CN114355731B ,2024-07-02

[7]

一种晶圆边缘曝光系统 [P].

王永洁 ;

王翰阳 ;

孙元斌 ;

韩禹 ;

徐庆阳 .

中国专利 :CN120406054A ,2025-08-01

[8]

曝光系统和曝光方法 [P].

崔宏青 ;

钟德镇 .

中国专利 :CN101551600B ,2009-10-07

[9]

一种高产能边缘曝光系统及其方法 [P].

周春旭 ;

鞠志坤 ;

刘长伟 ;

张洋弟 .

中国专利 :CN120891704A ,2025-11-04

[10]

硅片边缘曝光系统及其光强控制方法 [P].

谢威 ;

徐兵 .

中国专利 :CN101221370A ,2008-07-16

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