一种晶圆边缘曝光系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510609657.6

申请日：

2025-05-13

公开(公告)号：

CN120406054A

公开(公告)日：

2025-08-01

发明(设计)人：

王永洁王翰阳孙元斌韩禹徐庆阳

申请人：

沈阳芯源微电子设备股份有限公司

申请人地址：

110180 辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

代理机构：

上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286

代理人：

黄海霞

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

辽宁省沈阳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-19	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20250513
2025-08-01	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆边缘曝光系统及方法 [P].

崔栽荣 ;

贺晓彬 ;

杨涛 ;

刘金彪 ;

李亭亭 .

中国专利 :CN114355731A ,2022-04-15

[2]

晶圆边缘曝光系统及方法 [P].

崔栽荣 ;

贺晓彬 ;

杨涛 ;

刘金彪 ;

李亭亭 .

中国专利 :CN114355731B ,2024-07-02

[3]

用于晶圆边缘的光罩与曝光系统 [P].

彭荣赐 .

中国专利 :CN121050170A ,2025-12-02

[4]

一种晶圆边缘抛光系统 [P].

路新春 ;

郭垒 ;

邢浩鑫 ;

杨洪建 .

中国专利 :CN120095665A ,2025-06-06

[5]

一种边缘曝光系统 [P].

高攀 .

中国专利 :CN208888579U ,2019-05-21

[6]

一种边缘曝光系统和边缘曝光方法 [P].

李煜芝 .

中国专利 :CN104950582B ,2015-09-30

[7]

晶圆曝光系统及其补偿方法 [P].

李海峰 ;

张祥平 ;

赵志豪 .

中国专利 :CN121115428A ,2025-12-12

[8]

一种晶圆片曝光系统及方法 [P].

田锋 ;

邱杰振 .

中国专利 :CN117572719A ,2024-02-20

[9]

晶圆边缘曝光方法、晶圆边缘曝光装置及掩膜板 [P].

陈琦南 .

中国专利 :CN113433799B ,2021-09-24

[10]

调节装置、晶圆曝光设备及晶圆边缘曝光方法 [P].

温建胜 .

中国专利 :CN112835264A ,2021-05-25

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