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用于多个带电粒子束的装置
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201980086549.8
申请日
:
2019-11-26
公开(公告)号
:
CN113272934A
公开(公告)日
:
2021-08-17
发明(设计)人
:
任岩
申请人
:
申请人地址
:
荷兰维德霍温
IPC主分类号
:
H01J3728
IPC分类号
:
H01J3705
代理机构
:
北京市金杜律师事务所 11256
代理人
:
赵林琳
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-09-03
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/28 申请日:20191126
2021-08-17
公开
公开
共 50 条
[1]
用于多个带电粒子束的装置
[P].
任岩
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
任岩
.
:CN113272934B
,2024-11-29
[2]
多个带电粒子束的装置
[P].
任伟明
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任伟明
;
刘学东
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刘学东
;
胡学让
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胡学让
;
陈仲玮
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陈仲玮
.
中国专利
:CN111681939A
,2020-09-18
[3]
多个带电粒子束的装置
[P].
任伟明
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任伟明
;
刘学东
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胡学让
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陈仲玮
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陈仲玮
.
中国专利
:CN108738363A
,2018-11-02
[4]
用于多个带电粒子束的装置
[P].
任伟明
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机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
任伟明
;
刘学东
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机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
刘学东
;
胡学让
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机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
胡学让
;
陈仲玮
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机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
陈仲玮
.
:CN112567493B
,2024-12-31
[5]
用于多个带电粒子束的装置
[P].
任伟明
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任伟明
;
刘学东
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陈仲玮
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陈仲玮
.
中国专利
:CN112567493A
,2021-03-26
[6]
多个带电粒子束的装置
[P].
任伟明
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机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
任伟明
;
刘学东
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ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
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;
胡学让
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ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
胡学让
;
陈仲玮
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机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
陈仲玮
.
:CN113192815B
,2024-10-29
[7]
多个带电粒子束的装置
[P].
任伟明
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任伟明
;
李帅
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李帅
;
刘学东
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;
陈仲玮
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陈仲玮
.
中国专利
:CN108292583B
,2018-07-17
[8]
多个带电粒子束的装置
[P].
任伟明
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任伟明
;
刘学东
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胡学让
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陈仲玮
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陈仲玮
.
中国专利
:CN113192815A
,2021-07-30
[9]
多个带电粒子束的装置
[P].
任伟明
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任伟明
;
刘学东
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胡学让
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胡学让
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陈仲玮
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陈仲玮
.
中国专利
:CN108885187B
,2018-11-23
[10]
多个带电粒子束的设备
[P].
任伟明
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;
刘学东
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胡学让
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陈仲玮
.
中国专利
:CN108738343A
,2018-11-02
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