一种基于光刻胶生产设备的气泡检测装置

被引:0
申请号
CN202222065633.3
申请日
2022-08-08
公开(公告)号
CN218158367U
公开(公告)日
2022-12-27
发明(设计)人
康凯 陈旺 康威 覃伯成
申请人
申请人地址
363000 福建省漳州市高新区九湖镇众创园2栋4楼
IPC主分类号
G01V810
IPC分类号
G08B310
代理机构
南京苏创专利代理事务所(普通合伙) 32273
代理人
常晓慧
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
光刻胶气泡消除装置及光刻系统 [P]. 
张成根 ;
林锺吉 ;
金在植 .
中国专利 :CN222979912U ,2025-06-13
[2]
一种光刻胶瓶及光刻胶装置 [P]. 
陈阵 .
中国专利 :CN115101450A ,2022-09-23
[3]
光刻胶生产设备自动清洗装置 [P]. 
王振强 .
中国专利 :CN213793321U ,2021-07-27
[4]
一种光刻胶涂布装置 [P]. 
高梁 ;
罗启祥 .
中国专利 :CN223284505U ,2025-08-29
[5]
投料装置及光刻胶生产系统 [P]. 
肖文龙 ;
吴瑞 ;
张腾 ;
张宁 .
中国专利 :CN222592860U ,2025-03-11
[6]
一种光刻胶生产用收纳设备 [P]. 
黎厚明 ;
王胜林 .
中国专利 :CN210704712U ,2020-06-09
[7]
一种光刻胶连续生产设备 [P]. 
郑军明 ;
外谷佳靖 .
中国专利 :CN114146617A ,2022-03-08
[8]
光刻胶气泡消除装置及光刻系统 [P]. 
钱晓飞 ;
刘小虎 ;
朱祎明 .
中国专利 :CN114488697A ,2022-05-13
[9]
一种光刻胶气泡消除装置及光刻系统 [P]. 
陈阳 ;
余先勇 .
中国专利 :CN223096192U ,2025-07-15
[10]
一种实时监测的光刻胶生产循环过滤装置 [P]. 
康凯 ;
康威 ;
陈旺 ;
高家勇 ;
覃伯成 .
中国专利 :CN220677825U ,2024-03-29