光刻胶气泡消除装置及光刻系统

被引：0

申请号：

CN202210158300.7

申请日：

2022-02-21

公开(公告)号：

CN114488697A

公开(公告)日：

2022-05-13

发明(设计)人：

钱晓飞刘小虎朱祎明

申请人：

申请人地址：

201315 上海市浦东新区良腾路6号

IPC主分类号：

G03F716

IPC分类号：

B01D1900

代理机构：

上海思捷知识产权代理有限公司 31295

代理人：

钟玉敏

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-13	公开	公开
2022-05-31	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/16 申请日:20220221

共 50 条

[1]

光刻胶气泡消除装置及光刻系统 [P].

张成根 ;

林锺吉 ;

金在植 .

中国专利 :CN222979912U ,2025-06-13

[2]

一种光刻胶气泡消除装置及光刻系统 [P].

陈阳 ;

余先勇 .

中国专利 :CN223096192U ,2025-07-15

[3]

光刻胶供给装置 [P].

黄宗友 .

中国专利 :CN216894771U ,2022-07-05

[4]

光刻胶涂覆系统及光刻胶涂覆方法 [P].

汝长海 ;

朱军辉 ;

翟荣安 ;

王勇 .

中国专利 :CN112099313A ,2020-12-18

[5]

光刻胶及光刻方法 [P].

袁华 ;

黄永发 ;

杨尚勇 ;

胡展源 .

中国专利 :CN110501873A ,2019-11-26

[6]

光刻胶供应装置和光刻胶供应系统 [P].

徐阳 ;

余坚 ;

纪开勋 ;

杜龙 ;

李晨 .

中国专利 :CN217767184U ,2022-11-08

[7]

光刻胶输送系统 [P].

金在植 ;

张成根 ;

林锺吉 ;

贺晓彬 ;

丁明正 ;

杨涛 ;

李俊峰 ;

王文武 .

中国专利 :CN114345644A ,2022-04-15

[8]

光刻胶气泡排除系统及排除方法 [P].

胡习虎 .

中国专利 :CN101246311B ,2008-08-20

[9]

光刻胶涂布吸头及光刻胶涂布装置 [P].

汪良恩 ;

汪曦凌 ;

伍银辉 .

中国专利 :CN204347432U ,2015-05-20

[10]

光刻胶排放系统及光刻胶排放方法 [P].

郑义强 .

中国专利 :CN111090219A ,2020-05-01

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