氧化锌膜(ZnO)或氧化镁锌膜(ZnMgO)的成膜方法及氧化锌膜或氧化镁锌膜的成膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200880131323.7

申请日：

2008-09-24

公开(公告)号：

CN102165097A

公开(公告)日：

2011-08-24

发明(设计)人：

白幡孝洋织田容征吉田章男小仓正久

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

C23C1640

IPC分类号：

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

刘多益

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-10-05	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101116511242 IPC(主分类):C23C 16/40 专利申请号:2008801313237 申请日:20080924
2011-08-24	公开	公开
2015-12-02	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101724581920 IPC(主分类):C23C 16/40 专利申请号:2008801313237 申请公布日:20110824

共 50 条

[1]

氧化锌膜的成膜方法 [P].

高松勇吉 ;

秋山敏雄 .

中国专利 :CN1873051A ,2006-12-06

[2]

氧化铟-氧化锌-氧化镁类溅射靶及透明导电膜 [P].

井上一吉 ;

松原雅人 ;

笘井重和 ;

岛根幸朗 .

中国专利 :CN100564579C ,2008-02-13

[3]

氧化锌膜的制备方法 [P].

李征 .

中国专利 :CN104651819A ,2015-05-27

[4]

生产氧化锌膜的方法 [P].

松下伸广 ;

清野裕斗 .

中国专利 :CN106591808A ,2017-04-26

[5]

氧化镁氧化锌靶坯的制造方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

相原俊夫 ;

王学泽 ;

王钜宝 .

中国专利 :CN108249911A ,2018-07-06

[6]

氧化锌膜和使用它的光电元件、以及氧化锌膜的形成方法 [P].

近藤隆治 ;

远山上 ;

林亨 ;

园田雄一 ;

西元智紀 ;

山田聪 ;

东川诚 ;

岩田益光 ;

宫本祐介 .

中国专利 :CN1499648A ,2004-05-26

[7]

氧化锌系透明导电膜 [P].

中田邦彦 ;

堀田翔平 .

中国专利 :CN104871257A ,2015-08-26

[8]

氧化锌系膜形成用组合物、氧化锌系膜的制造方法及锌化合物 [P].

芳仲笃也 ;

阿部彻司 .

中国专利 :CN103415576B ,2013-11-27

[9]

基于氧化锌的透明导电膜 [P].

梅特·哈拉 ;

苏珊娜·西奔特力特 ;

菲利普·戴尔 .

中国专利 :CN109478574B ,2019-03-15

[10]

锌锅抹拭部位氧化锌膜清理装置 [P].

李建华 ;

陶华国 ;

詹学明 ;

康国樑 ;

余海明 .

中国专利 :CN205710879U ,2016-11-23

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