一种可自动调节照度均匀性的蝇眼透镜及曝光系统

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202011590172.0
申请日
2020-12-29
公开(公告)号
CN112363255A
公开(公告)日
2021-02-12
发明(设计)人
兰沈凯 吴催豪 吴杰明
申请人
申请人地址
620500 四川省眉山市仁寿县文林工业园区管委会办公楼一楼
IPC主分类号
G02B300
IPC分类号
G03F720
代理机构
广州粤高专利商标代理有限公司 44102
代理人
刘爱珍
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
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