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用于控制致动器的致动器控制电路和方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201910327311.1
申请日
:
2019-04-23
公开(公告)号
:
CN110398914A
公开(公告)日
:
2019-11-01
发明(设计)人
:
田渕善久
申请人
:
申请人地址
:
美国亚利桑那州
IPC主分类号
:
G05B19042
IPC分类号
:
代理机构
:
北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287
代理人
:
章蕾
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2020-11-24
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):G05B 19/042 申请日:20190423
2019-11-01
公开
公开
共 50 条
[1]
用于控制致动器的致动器控制电路和方法
[P].
田渕善久
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
半导体组件工业公司
半导体组件工业公司
田渕善久
.
美国专利
:CN110398914B
,2024-07-02
[2]
用于控制致动器的致动器控制电路和方法
[P].
田渕善久
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
田渕善久
.
中国专利
:CN110398913A
,2019-11-01
[3]
用于控制致动器的致动器控制电路和方法
[P].
田渕善久
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
半导体组件工业公司
半导体组件工业公司
田渕善久
.
美国专利
:CN110398913B
,2024-04-05
[4]
致动器控制电路
[P].
田渕善久
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
田渕善久
;
野田笃
论文数:
0
引用数:
0
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0
野田笃
.
中国专利
:CN209089101U
,2019-07-09
[5]
控制电路和致动器控制电路
[P].
田渊义久
论文数:
0
引用数:
0
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0
田渊义久
;
神谷知德
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
神谷知德
.
中国专利
:CN205092843U
,2016-03-16
[6]
致动器控制装置和致动器控制方法
[P].
中西大介
论文数:
0
引用数:
0
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0
中西大介
.
中国专利
:CN113721675A
,2021-11-30
[7]
致动器控制装置和致动器控制方法
[P].
中西大介
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
株式会社电装
株式会社电装
中西大介
.
日本专利
:CN113721675B
,2025-09-09
[8]
用于控制电路断路器的致动器电路
[P].
皮特·冯·爱勒曼
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
皮特·冯·爱勒曼
.
中国专利
:CN104254899A
,2014-12-31
[9]
压电致动器控制电路和防振控制电路
[P].
山田悦久
论文数:
0
引用数:
0
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0
山田悦久
;
神谷知庆
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
神谷知庆
.
中国专利
:CN101491802B
,2009-07-29
[10]
致动器阵列特别是用于衬底台和光刻设备的致动器阵列以及压电致动器控制电路装置
[P].
H·本特勒
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
H·本特勒
;
M·M·A·斯特尔
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
M·M·A·斯特尔
;
B·简森
论文数:
0
引用数:
0
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机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
B·简森
;
J·范杜凡波第
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
J·范杜凡波第
;
A·德加斯佩里
论文数:
0
引用数:
0
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0
机构:
ASML荷兰有限公司
ASML荷兰有限公司
A·德加斯佩里
.
:CN120283470A
,2025-07-08
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