致动器阵列特别是用于衬底台和光刻设备的致动器阵列以及压电致动器控制电路装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202380082604.2

申请日：

2023-11-23

公开(公告)号：

CN120283470A

公开(公告)日：

2025-07-08

发明(设计)人：

H·本特勒 M·M·A·斯特尔 B·简森 J·范杜凡波第 A·德加斯佩里

申请人：

ASML荷兰有限公司

申请人地址：

荷兰

IPC主分类号：

H10N30/80

IPC分类号：

H02N2/06 G03F7/00

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

王益

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-09	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H10N 30/80申请日:20231123
2025-07-08	公开	公开

共 50 条

[1]

压电致动器和压电致动器阵列 [P].

B·博斯特根斯 .

中国专利 :CN113541528A ,2021-10-22

[2]

压电致动器、致动器系统、衬底支撑件和包括致动器的光刻设备 [P].

B·简森 ;

H·巴特勒 ;

A·P·戴克舒恩 .

中国专利 :CN112567541A ,2021-03-26

[3]

压电致动器驱动电路以及压电致动器装置 [P].

村上匡亮 .

中国专利 :CN102386803B ,2012-03-21

[4]

用于控制致动器的致动器控制电路和方法 [P].

田渕善久 .

中国专利 :CN110398914A ,2019-11-01

[5]

用于控制致动器的致动器控制电路和方法 [P].

田渕善久 .

美国专利 :CN110398914B ,2024-07-02

[6]

致动器设备和致动器设备的阵列 [P].

D·A·范登恩德 ;

C·P·亨德里克斯 ;

M·T·约翰逊 ;

V·拉韦佐 ;

H·利夫卡 .

中国专利 :CN107690717A ,2018-02-13

[7]

特别是阀门致动器的致动器和用于操作阀门致动器的方法 [P].

肖恩·博登 ;

乔治·希曼 .

中国专利 :CN112166276A ,2021-01-01

[8]

致动器，特别是机电类型的致动器 [P].

S·巴斯卡兰 ;

V·拉金迪兰 ;

G·里多尔菲 ;

P·库马尔 ;

T·埃鲁撒潘 .

法国专利 :CN119731453A ,2025-03-28

[9]

用于控制致动器的致动器控制电路和方法 [P].

田渕善久 .

中国专利 :CN110398913A ,2019-11-01

[10]

用于控制致动器的致动器控制电路和方法 [P].

田渕善久 .

美国专利 :CN110398913B ,2024-04-05

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