压电致动器、致动器系统、衬底支撑件和包括致动器的光刻设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980053400.X

申请日：

2019-07-15

公开(公告)号：

CN112567541A

公开(公告)日：

2021-03-26

发明(设计)人：

B·简森 H·巴特勒 A·P·戴克舒恩

申请人：

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

H01L4109

IPC分类号：

G03F720

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

王益

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-31	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 41/09 申请日:20190715
2021-03-26	公开	公开

共 50 条

[1]

包括压电致动器或电致伸缩致动器的致动器组件 [P].

H·巴特勒 ;

B·詹森 .

中国专利 :CN113841090A ,2021-12-24

[2]

压电致动器和压电致动器阵列 [P].

B·博斯特根斯 .

中国专利 :CN113541528A ,2021-10-22

[3]

压电致动器和制造压电致动器的方法 [P].

J.E.小阿博特 ;

C-H.陈 ;

J.R.波拉德 .

中国专利 :CN104245324B ,2014-12-24

[4]

压电致动器和压电致动板 [P].

廖鸿信 ;

陈世昌 ;

廖家淯 ;

韩永隆 ;

李伟铭 .

中国专利 :CN207135005U ,2018-03-23

[5]

压电致动器 [P].

朴东先 ;

金在京 ;

孙延昊 ;

禹基锡 ;

李金卿 ;

张志年 .

中国专利 :CN102570898A ,2012-07-11

[6]

致动器、光刻设备以及致动器构造方法 [P].

R·库普斯 ;

P·M·H·沃斯特尔斯 ;

F·斯坦德霍德尔斯 .

中国专利 :CN102023491A ,2011-04-20

[7]

致动器系统和光刻设备 [P].

R·E·范莱文 ;

H·巴特勒 .

中国专利 :CN108700828B ,2018-10-23

[8]

压电致动器 [P].

黑田涉 .

中国专利 :CN113994491A ,2022-01-28

[9]

压电致动器 [P].

曾柏颖 ;

赵晨佑 ;

赖似蓉 .

中国专利 :CN223052950U ,2025-07-01

[10]

压电致动器 [P].

佐藤靖行 ;

山内克己 ;

稻叶胜也 ;

阿部阳子 .

中国专利 :CN108376734B ,2018-08-07

← 1 2 3 4 5 →