致动器系统和光刻设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201780013380.4

申请日：

2017-01-30

公开(公告)号：

CN108700828B

公开(公告)日：

2018-10-23

发明(设计)人：

R·E·范莱文 H·巴特勒

申请人：

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G01B902

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

王静

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-09-15	授权	授权
2018-11-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20170130
2018-10-23	公开	公开

共 50 条

[1]

压电致动器、致动器系统、衬底支撑件和包括致动器的光刻设备 [P].

B·简森 ;

H·巴特勒 ;

A·P·戴克舒恩 .

中国专利 :CN112567541A ,2021-03-26

[2]

致动器、线性马达和光刻设备 [P].

N·C·P·J·海尔茨 ;

F·斯坦德霍德尔斯 ;

E·G·B·霍夫斯泰 .

中国专利 :CN110637410B ,2019-12-31

[3]

致动器、定位系统以及光刻设备 [P].

S·A·J·霍尔 ;

A·F·J·德格鲁特 ;

T·P·M·卡迪 ;

M·柯塞尔斯 ;

D·G·E·霍贝伦 .

中国专利 :CN102023494A ,2011-04-20

[4]

致动器、光刻设备以及致动器构造方法 [P].

R·库普斯 ;

P·M·H·沃斯特尔斯 ;

F·斯坦德霍德尔斯 .

中国专利 :CN102023491A ,2011-04-20

[5]

光刻设备和洛伦兹致动器 [P].

F·A·布恩 ;

H·P·G·J·范阿格特玛尔 .

中国专利 :CN101713930A ,2010-05-26

[6]

致动器系统、光刻设备以及器件制造方法 [P].

H·巴特勒 .

中国专利 :CN101971101A ,2011-02-09

[7]

电磁致动器、平台设备以及光刻设备 [P].

S·A·J·霍尔 ;

J·范埃基科 ;

J·P·M·B·沃麦尤伦 ;

G·J·P·尼希 ;

黄仰山 ;

M·W·T·库特 ;

J·德保伊 ;

M·H·希曼 ;

周伟 ;

S·B·C·M·马顿斯 .

中国专利 :CN102645850B ,2012-08-22

[8]

光刻投影装置和致动器 [P].

T·P·M·卡迪 .

中国专利 :CN1786831A ,2006-06-14

[9]

线圈、定位装置、致动器以及光刻设备 [P].

J·马卡诺维克 ;

R·库普斯 ;

T·范祖特芬 .

中国专利 :CN101931280B ,2010-12-29

[10]

致动器设备和方法 [P].

D·A·范登恩德 ;

E·G·M·佩尔塞斯 ;

M·T·约翰逊 ;

C·P·亨德里克斯 .

中国专利 :CN110168760A ,2019-08-23

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