致动器系统和光刻设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201780013380.4

申请日：

2017-01-30

公开(公告)号：

CN108700828B

公开(公告)日：

2018-10-23

发明(设计)人：

R·E·范莱文 H·巴特勒

申请人：

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G01B902

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

王静

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-09-15	授权	授权
2018-11-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20170130
2018-10-23	公开	公开

共 50 条

[41]

线性致动器 [P].

J·巴斯特赫姆 .

中国专利 :CN101443985A ,2009-05-27

[42]

阀致动器 [P].

B·库柏 ;

P·G·克拉克 .

中国专利 :CN103959639A ,2014-07-30

[43]

机电致动器 [P].

F·里贝拉 ;

M·拉勒曼特 ;

S·莫罗 ;

M·Y·多格曼 .

德国专利 :CN118974463A ,2024-11-15

[44]

输入设备、用于提供运动指令到致动器处的方法和致动器系统 [P].

G·博格达诺维奇 ;

E·克努本 ;

N·凯驰 .

中国专利 :CN113795354A ,2021-12-14

[45]

致动器设备和方法 [P].

A·希尔格斯 ;

D·A·范登恩德 ;

C·P·亨德里克斯 ;

R·A·霍芬坎普 ;

M·T·约翰逊 ;

E·G·M·佩尔塞斯 ;

F·J·G·哈肯斯 .

中国专利 :CN111066164A ,2020-04-24

[46]

电子制动系统的致动器 [P].

李永松 .

中国专利 :CN109572656A ,2019-04-05

[47]

相机致动器和包括该相机致动器的相机设备 [P].

朴铜锳 .

韩国专利 :CN117413525A ,2024-01-16

[48]

车辆致动器系统 [P].

Y·李 ;

C·S·纳穆杜里 ;

N·麦马洪 ;

R·B·埃利奥特 .

中国专利 :CN101722812A ,2010-06-09

[49]

致动器驱动系统 [P].

李真焕 ;

文炯台 .

中国专利 :CN101266459A ,2008-09-17

[50]

液压致动器系统 [P].

库尔特·阿蒙森 ;

拉斯·安戈尔德 ;

大卫·沙因曼 ;

蒂姆·斯威夫特 ;

丹尼尔·P·诺尔博 ;

罗伯特·莫尔 ;

乔纳森·比尔德 ;

凯尔·埃德尔伯格 .

中国专利 :CN104582910A ,2015-04-29

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