致动器系统和光刻设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201780013380.4

申请日：

2017-01-30

公开(公告)号：

CN108700828B

公开(公告)日：

2018-10-23

发明(设计)人：

R·E·范莱文 H·巴特勒

申请人：

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G01B902

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

王静

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-09-15	授权	授权
2018-11-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20170130
2018-10-23	公开	公开

共 50 条

[21]

相机致动器和包括相机致动器的相机模块 [P].

吴俊锡 ;

金承洙 ;

元昌喜 ;

郑载勋 .

韩国专利 :CN120322725A ,2025-07-15

[22]

致动器阵列特别是用于衬底台和光刻设备的致动器阵列以及压电致动器控制电路装置 [P].

H·本特勒 ;

M·M·A·斯特尔 ;

B·简森 ;

J·范杜凡波第 ;

A·德加斯佩里 .

:CN120283470A ,2025-07-08

[23]

致动器系统 [P].

福岛克也 ;

石井正志 ;

丹羽弘树 ;

铃木明 ;

大贺和人 ;

和久田翔悟 ;

原聪史 ;

水野智史 ;

林茂树 .

日本专利 :CN112867588B ,2024-03-26

[24]

致动器系统 [P].

福岛克也 ;

石井正志 ;

丹羽弘树 ;

铃木明 ;

大贺和人 ;

和久田翔悟 ;

原聪史 ;

水野智史 ;

林茂树 .

中国专利 :CN112867588A ,2021-05-28

[25]

致动器和相机设备 [P].

白根英树 ;

富田浩稔 ;

泷泽辉之 .

中国专利 :CN109716227A ,2019-05-03

[26]

致动器控制装置和致动器单元 [P].

小川贵之 .

中国专利 :CN107735940A ,2018-02-23

[27]

致动器系统、光刻设备、控制部件位置的方法和器件制造方法 [P].

戈斯·德弗里斯 ;

埃德温·比伊斯 ;

尤韦·米莰 .

中国专利 :CN102246099A ,2011-11-16

[28]

气动致动器系统和方法 [P].

H·T·保卢斯 ;

F·布劳恩 ;

F·施努尔 ;

N·吉森 .

中国专利 :CN101688545A ,2010-03-31

[29]

多层超导制品、超导线圈、致动器、马达、平台设备和光刻设备 [P].

G·G·A·德格西姆 ;

R·F·M·M·哈梅林克 .

中国专利 :CN114026707A ,2022-02-08

[30]

相机致动器和包括该相机致动器的相机装置 [P].

李成国 ;

权宰煜 ;

吴俊锡 .

韩国专利 :CN115702573B ,2025-09-02

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