致动器系统、光刻设备、控制部件位置的方法和器件制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200980149587.X

申请日：

2009-11-04

公开(公告)号：

CN102246099A

公开(公告)日：

2011-11-16

发明(设计)人：

戈斯·德弗里斯埃德温·比伊斯尤韦·米莰

申请人：

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

F03G706

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

吴敬莲

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-02-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101180314054 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:200980149587X 申请日:20091104
2017-12-22	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20091104 授权公告日:20140709 终止日期:20161104
2011-11-16	公开	公开
2014-07-09	授权	授权

共 50 条

[1]

致动器系统、光刻设备以及器件制造方法 [P].

H·巴特勒 .

中国专利 :CN101971101A ,2011-02-09

[2]

包含位置控制部件的电磁致动器及使用这种致动器的方法 [P].

C.布隆德尔 .

中国专利 :CN102934179A ,2013-02-13

[3]

致动器系统和光刻设备 [P].

R·E·范莱文 ;

H·巴特勒 .

中国专利 :CN108700828B ,2018-10-23

[4]

致动器、光刻设备以及致动器构造方法 [P].

R·库普斯 ;

P·M·H·沃斯特尔斯 ;

F·斯坦德霍德尔斯 .

中国专利 :CN102023491A ,2011-04-20

[5]

控制器、光刻设备、控制物体位置的方法及器件制造方法 [P].

R·I·卡米迪 ;

H·巴特勒 ;

M·霍凯斯 ;

M·M·J·范德沃尔 ;

J·J·M·范德维基德翁 .

中国专利 :CN102540756B ,2012-07-04

[6]

致动器位置控制方法和相应的设备 [P].

I·赫维根 ;

A·詹斯森 .

中国专利 :CN1806281A ,2006-07-19

[7]

用于控制致动器位置的系统和方法 [P].

Q·袁 ;

C·W·舍特勒尔 ;

J·Y·卢 .

中国专利 :CN101605996A ,2009-12-16

[8]

确定光学部件的致动器的寄生力的方法、用于致动器的控制方法、光学系统、投影系统和光刻设备 [P].

汉斯·巴特勒 ;

M·E·C·马赛尔斯 ;

R·J·M·德琼 .

:CN119213368A ,2024-12-27

[9]

光刻设备和器件制造方法 [P].

埃尔温·范茨韦特 ;

彼得·德亚格尔 ;

约翰内斯·昂伍李 ;

汉瑞克·德曼 .

中国专利 :CN103238113A ,2013-08-07

[10]

光刻设备和器件制造方法 [P].

约翰内斯·昂伍李 ;

彼得·德亚格尔 ;

埃尔温·范茨韦特 .

中国专利 :CN102770810A ,2012-11-07

← 1 2 3 4 5 →