致动器、线性马达和光刻设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880033200.3

申请日：

2018-05-03

公开(公告)号：

CN110637410B

公开(公告)日：

2019-12-31

发明(设计)人：

N·C·P·J·海尔茨 F·斯坦德霍德尔斯 E·G·B·霍夫斯泰

申请人：

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

H02K4100

IPC分类号：

H02K922

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

张启程

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-01-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H02K 41/00 申请日:20180503
2021-11-16	授权	授权
2019-12-31	公开	公开

共 50 条

[1]

致动器系统和光刻设备 [P].

R·E·范莱文 ;

H·巴特勒 .

中国专利 :CN108700828B ,2018-10-23

[2]

致动模块和线性马达 [P].

麦练智 ;

李靖 .

中国专利 :CN120222751A ,2025-06-27

[3]

马达驱动线性致动器及其马达 [P].

蔡清雄 ;

苏俊钦 ;

钟启闻 ;

朱恩毅 .

中国专利 :CN104373540B ,2015-02-25

[4]

管状线性致动器、图案形成装置掩蔽装置和光刻设备 [P].

P·M·S·M·海杰曼斯 ;

O·M·J·费希尔 ;

M·H·基曼 ;

E·范霍恩 ;

A·H·弗维杰 .

中国专利 :CN112041748A ,2020-12-04

[5]

致动器、光刻设备以及致动器构造方法 [P].

R·库普斯 ;

P·M·H·沃斯特尔斯 ;

F·斯坦德霍德尔斯 .

中国专利 :CN102023491A ,2011-04-20

[6]

线性致动器的马达结构 [P].

吴周欣 .

中国专利 :CN204103658U ,2015-01-14

[7]

线性致动器 [P].

陈谆修 ;

刘俊芳 ;

黄勖维 .

中国专利 :CN112701872B ,2021-04-23

[8]

光刻设备和洛伦兹致动器 [P].

F·A·布恩 ;

H·P·G·J·范阿格特玛尔 .

中国专利 :CN101713930A ,2010-05-26

[9]

压电致动器、致动器系统、衬底支撑件和包括致动器的光刻设备 [P].

B·简森 ;

H·巴特勒 ;

A·P·戴克舒恩 .

中国专利 :CN112567541A ,2021-03-26

[10]

多层超导制品、超导线圈、致动器、马达、平台设备和光刻设备 [P].

G·G·A·德格西姆 ;

R·F·M·M·哈梅林克 .

中国专利 :CN114026707A ,2022-02-08

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