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管状线性致动器、图案形成装置掩蔽装置和光刻设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201980028000.3
申请日：
2019-03-21
公开(公告)号：
CN112041748A
公开(公告)日：
2020-12-04
发明(设计)人：
P·M·S·M·海杰曼斯
O·M·J·费希尔
M·H·基曼
E·范霍恩
A·H·弗维杰
申请人：
申请人地址：
荷兰维德霍温
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
H02K4103
代理机构：
北京市金杜律师事务所 11256
代理人：
董莘
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-05-11 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20190321 |
| 2020-12-04 | 公开 | 公开 |