单晶硅提拉装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010096773.X

申请日：

2020-02-17

公开(公告)号：

CN111575783B

公开(公告)日：

2020-08-25

发明(设计)人：

今井崇希竹安志信添田聪

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C30B1500

IPC分类号：

C30B2906

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

张晶;谢顺星

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-31	授权	授权
2020-08-25	公开	公开
2020-09-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 15/00 申请日:20200217

共 50 条

[1]

单晶硅提拉装置 [P].

竹安志信 ;

岩崎淳 .

中国专利 :CN105531406A ,2016-04-27

[2]

单晶硅的制造方法及单晶硅的提拉装置 [P].

横山龙介 ;

坂本英城 ;

杉村涉 .

中国专利 :CN112074628B ,2020-12-11

[3]

单晶硅的培育方法及单晶硅的提拉装置 [P].

深津宣人 ;

横山龙介 .

中国专利 :CN114341406A ,2022-04-12

[4]

单晶硅的培育方法及单晶硅的提拉装置 [P].

深津宣人 ;

横山龙介 .

日本专利 :CN114341406B ,2024-05-10

[5]

提拉单晶硅的装置 [P].

加藤浩二 ;

佐藤正行 ;

高木俊 .

中国专利 :CN1173556A ,1998-02-18

[6]

单晶硅锭的制造方法及单晶硅提拉装置 [P].

杉村涉 ;

坂本英城 .

中国专利 :CN113302346A ,2021-08-24

[7]

一种单晶提拉装置、单晶硅的制备方法及单晶硅 [P].

全弘湧 .

中国专利 :CN109554756A ,2019-04-02

[8]

单晶硅的提拉方法 [P].

早川裕 ;

斋藤康裕 .

中国专利 :CN110273178A ,2019-09-24

[9]

单晶硅的提拉方法 [P].

南俊郎 .

中国专利 :CN101363132A ,2009-02-11

[10]

单晶硅的提拉方法 [P].

安部贵裕 .

中国专利 :CN110719974A ,2020-01-21

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