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单晶硅锭的制造方法及单晶硅提拉装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201980084363.9
申请日：
2019-09-10
公开(公告)号：
CN113302346A
公开(公告)日：
2021-08-24
发明(设计)人：
杉村涉
坂本英城
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
C30B2906
IPC分类号：
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司 72001
代理人：
李婷;王玮
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-08-24 | 公开 | 公开 |
| 2021-09-10 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 29/06 申请日:20190910 |