一种气体传感器芯片的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410644658.6

申请日：

2014-11-14

公开(公告)号：

CN104391026A

公开(公告)日：

2015-03-04

发明(设计)人：

禹胜林

申请人：

申请人地址：

214135 江苏省无锡市无锡国家高新技术产业开发区菱湖大道97号创新研发楼二期南楼101室

IPC主分类号：

G01N27407

IPC分类号：

代理机构：

南京经纬专利商标代理有限公司 32200

代理人：

张惠忠

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-04-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101603710783 IPC(主分类):G01N 27/407 专利申请号:2014106446586 申请日:20141114
2018-01-19	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01N 27/407 申请公布日:20150304
2015-03-04	公开	公开

共 50 条

[1]

一种气体传感器芯片的制造方法 [P].

禹胜林 .

中国专利 :CN104391027A ,2015-03-04

[2]

一种气体传感器芯片的制造方法 [P].

禹胜林 .

中国专利 :CN104597087A ,2015-05-06

[3]

一种气体传感器芯片的制造方法 [P].

禹胜林 .

中国专利 :CN104391037A ,2015-03-04

[4]

气体传感器芯片、传感器及传感器芯片制备方法 [P].

祁明锋 ;

王利利 ;

王三良 ;

秦东振 ;

焦桂东 .

中国专利 :CN101059463B ,2007-10-24

[5]

一种气体传感器芯片 [P].

禹胜林 .

中国专利 :CN104391007A ,2015-03-04

[6]

气体传感器和用于制造气体传感器的倒装芯片方法 [P].

S.亨尼克 ;

R.施密特 .

中国专利 :CN102084243B ,2011-06-01

[7]

一种气体传感器芯片 [P].

禹胜林 .

中国专利 :CN104407034A ,2015-03-11

[8]

一种气体传感器芯片 [P].

禹胜林 .

中国专利 :CN104407035A ,2015-03-11

[9]

一种气体传感器芯片 [P].

禹胜林 .

中国专利 :CN104391009A ,2015-03-04

[10]

MEMS气体传感器及MEMS气体传感器的制造方法 [P].

木村哲平 ;

铃木弘明 ;

寺泽和雄 .

中国专利 :CN112805557A ,2021-05-14

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