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一种外延反应腔和化学气相外延设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201610357320.1
申请日：
2016-05-26
公开(公告)号：
CN107435165A
公开(公告)日：
2017-12-05
发明(设计)人：
孙伟
申请人：
申请人地址：
100176 北京经济技术开发区文昌大道8号
IPC主分类号：
C30B2508
IPC分类号：
C23C1644
代理机构：
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112
代理人：
彭瑞欣;罗瑞芝
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-12-05 | 公开 | 公开 |
| 2017-12-29 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 25/08 申请日:20160526 |
| 2022-07-15 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C30B 25/08 申请公布日:20171205 |