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一种防止工艺气体回流的气相外延反应腔结构
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202121386667.1
申请日：
2021-06-21
公开(公告)号：
CN216141656U
公开(公告)日：
2022-03-29
发明(设计)人：
张海涛
山本晓
许彬
申请人：
申请人地址：
214000 江苏省无锡市新吴区漓江路11号
IPC主分类号：
C30B2940
IPC分类号：
C30B2514
代理机构：
北京华际知识产权代理有限公司 11676
代理人：
刘秀颖
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-03-29 | 授权 | 授权 |