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一种用于气相外延反应腔结构的升降控温机构
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110818166.4
申请日：
2021-07-20
公开(公告)号：
CN113638049A
公开(公告)日：
2021-11-12
发明(设计)人：
张海涛
山本晓
许彬
申请人：
申请人地址：
214000 江苏省无锡市新吴区漓江路11号
IPC主分类号：
C30B2940
IPC分类号：
C30B2508
C30B2516
代理机构：
北京华际知识产权代理有限公司 11676
代理人：
刘秀颖
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-11-12 | 公开 | 公开 |
| 2021-11-30 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 29/40 申请日:20210720 |