蒸镀方法以及蒸镀装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201711338456.9

申请日：

2017-12-14

公开(公告)号：

CN109957762A

公开(公告)日：

2019-07-02

发明(设计)人：

万冀豫汪栋宋勇志姜晶晶齐鹏煜

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

C23C1404 C23C1454

代理机构：

北京律智知识产权代理有限公司 11438

代理人：

王辉;阚梓瑄

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-07-02	公开	公开
2019-07-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20171214
2020-11-27	授权	授权

共 50 条

[1]

蒸镀装置以及蒸镀方法 [P].

末永真吾 ;

山下和吉 ;

滨永教彰 .

中国专利 :CN111206226A ,2020-05-29

[2]

蒸镀坩埚、蒸镀设备以及蒸镀方法 [P].

李楚 ;

陈新亮 ;

苑立阁 .

中国专利 :CN115369361A ,2022-11-22

[3]

蒸镀源以及蒸镀装置 [P].

藤井严 ;

菊地诚 .

中国专利 :CN113039306A ,2021-06-25

[4]

蒸镀装置以及蒸镀设备 [P].

赵利 ;

孙玉群 ;

孙军旗 ;

刘芳军 ;

徐赛赛 ;

鲁艳春 .

中国专利 :CN215440660U ,2022-01-07

[5]

蒸镀装置以及蒸镀设备 [P].

夏禹 ;

张正川 ;

王鹏 ;

王淼 .

中国专利 :CN109440068A ,2019-03-08

[6]

一种蒸镀坩埚、蒸镀源以及蒸镀方法 [P].

孙力 .

中国专利 :CN108866485B ,2018-11-23

[7]

蒸镀颗粒射出装置和蒸镀装置以及蒸镀方法 [P].

井上智 ;

川户伸一 ;

园田通 ;

桥本智志 .

中国专利 :CN103385035A ,2013-11-06

[8]

蒸镀颗粒射出装置和蒸镀装置以及蒸镀方法 [P].

井上智 ;

川户伸一 ;

园田通 .

中国专利 :CN103415645B ,2013-11-27

[9]

坩埚、蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

卜斌 .

中国专利 :CN107190236B ,2017-09-22

[10]

蒸镀装置及蒸镀方法 [P].

王鑫 ;

王洋 ;

张灿 ;

张荡 ;

崔晓晨 ;

蔡鹏 ;

李官正 .

中国专利 :CN109295422A ,2019-02-01

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