共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种便于控制的氢氟酸蒸汽刻蚀硅装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201822076589.X
申请日：
2018-12-12
公开(公告)号：
CN209537632U
公开(公告)日：
2019-10-25
发明(设计)人：
陈训海
申请人：
申请人地址：
353200 福建省南平市顺昌县大干镇
IPC主分类号：
C23F108
IPC分类号：
C23F112
代理机构：
深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 44248
代理人：
吴肖敏
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-12-02 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23F 1/08 申请日:20181212 授权公告日:20191025 终止日期:20211212 |
| 2019-10-25 | 授权 | 授权 |