一种晶圆承片台

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201822203879.6

申请日：

2018-12-26

公开(公告)号：

CN209357708U

公开(公告)日：

2019-09-06

发明(设计)人：

钱勇

申请人：

申请人地址：

200131 上海浦东新区自由贸易试验区泰谷路169号C座1层

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

H01L21687

代理机构：

上海容慧专利代理事务所(普通合伙) 31287

代理人：

于晓菁

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-09-06	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆测试机承片台 [P].

冯建中 ;

唐冕 .

中国专利 :CN202150448U ,2012-02-22

[2]

一种半导体晶圆承片台 [P].

袁振坤 ;

李瑞 .

中国专利 :CN223156008U ,2025-07-25

[3]

晶圆承台 [P].

宋轶斐 .

中国专利 :CN210092055U ,2020-02-18

[4]

一种用于晶圆吸附的承片台 [P].

隋天译 ;

郭生华 ;

李浩楠 ;

龚明 ;

崔海超 .

中国专利 :CN222421945U ,2025-01-28

[5]

晶圆承放台 [P].

王延伟 .

中国专利 :CN201562672U ,2010-08-25

[6]

晶圆承片台异物光学扫描模块 [P].

谢炎忠 ;

廖国富 ;

张雅芳 .

中国专利 :CN217932122U ,2022-11-29

[7]

一种晶圆载片台 [P].

牛立久 ;

张雪奎 ;

刘增增 ;

周一雷 ;

徐金鑫 .

中国专利 :CN216528822U ,2022-05-13

[8]

一种晶圆挑片台 [P].

杨辰 ;

刘亮俊 .

中国专利 :CN213650389U ,2021-07-09

[9]

一种显微镜载台晶圆承片治具 [P].

李凯文 .

中国专利 :CN214477363U ,2021-10-22

[10]

一种晶圆承片台的水平调整机构 [P].

尹硕 ;

祁广杰 .

中国专利 :CN223140751U ,2025-07-22

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