一种镍铂合金溅射靶材及其制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202011286540.2
申请日
2020-11-17
公开(公告)号
CN112410608A
公开(公告)日
2021-02-26
发明(设计)人
林泓成 黄军浩
申请人
申请人地址
215000 江苏省苏州市昆山市玉山镇吴淞江工业园晨丰路南侧
IPC主分类号
C22C504
IPC分类号
C22C1903 C22C104 B22F314 C23C1434
代理机构
北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350
代理人
汤东凤
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种镍铂合金溅射靶材及其制备方法 [P]. 
王传军 ;
唐志龙 ;
张俊敏 ;
闻明 ;
毕珺 ;
沈月 ;
宋修庆 ;
管伟明 .
中国专利 :CN104018128A ,2014-09-03
[2]
一种镍铂合金溅射靶材及其制备方法 [P]. 
王传军 ;
闻明 ;
谭志龙 ;
沈月 ;
许彦亭 ;
管伟明 ;
郭俊梅 ;
陈家林 .
中国专利 :CN111286703A ,2020-06-16
[3]
一种晶粒高定向取向的镍铂合金溅射靶材及其制备方法 [P]. 
闻明 ;
郭俊梅 ;
管伟明 ;
谭志龙 ;
王传军 ;
周利民 ;
宋修庆 ;
沈月 ;
普志辉 ;
许彦婷 .
中国专利 :CN111304608A ,2020-06-19
[4]
一种磁控溅射用镍铂合金靶材及制备方法 [P]. 
葛春桥 ;
高洋 ;
罗泽宇 ;
陈露 ;
李强 .
中国专利 :CN118186351A ,2024-06-14
[5]
一种铂镍合金溅射靶材及其制备方法 [P]. 
傅剑平 ;
赵健 ;
潘登 .
中国专利 :CN106282639B ,2017-01-04
[6]
一种镍铂合金靶材制备方法 [P]. 
居炎鹏 ;
李心然 ;
赵泽良 ;
王永超 .
中国专利 :CN115415523A ,2022-12-02
[7]
一种镍铂合金靶材制备方法 [P]. 
居炎鹏 ;
李心然 ;
赵泽良 ;
王永超 .
中国专利 :CN115415523B ,2024-04-30
[8]
镍铂合金靶材及其制备方法 [P]. 
邵玲 ;
王广欣 ;
赵学义 .
中国专利 :CN104018120B ,2014-09-03
[9]
一种镍铝合金溅射靶材及其热压制备方法 [P]. 
姚力军 ;
潘杰 ;
王学泽 ;
黄东长 .
中国专利 :CN115255367B ,2024-04-16
[10]
一种钼镍铜多元合金溅射靶材及其制备方法 [P]. 
吴吉娜 ;
武洲 ;
王娜 ;
朱琦 ;
张铁军 ;
付静波 ;
赵虎 .
中国专利 :CN110670032A ,2020-01-10