一种镍铂合金溅射靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010245239.0

申请日：

2020-03-31

公开(公告)号：

CN111286703A

公开(公告)日：

2020-06-16

发明(设计)人：

王传军闻明谭志龙沈月许彦亭管伟明郭俊梅陈家林

申请人：

申请人地址：

650000 云南省昆明市五华区高新技术产业开发区科技路988号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C22C1903 C22C102 B22D2708 C22F110

代理机构：

昆明知道专利事务所(特殊普通合伙企业) 53116

代理人：

蒋明;姜开远

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-07-10	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20200331
2020-06-16	公开	公开
2021-12-10	授权	授权

共 50 条

[1]

一种镍铂合金溅射靶材及其制备方法 [P].

林泓成 ;

黄军浩 .

中国专利 :CN112410608A ,2021-02-26

[2]

一种镍铂合金溅射靶材及其制备方法 [P].

王传军 ;

唐志龙 ;

张俊敏 ;

闻明 ;

毕珺 ;

沈月 ;

宋修庆 ;

管伟明 .

中国专利 :CN104018128A ,2014-09-03

[3]

一种晶粒高定向取向的镍铂合金溅射靶材及其制备方法 [P].

闻明 ;

郭俊梅 ;

管伟明 ;

谭志龙 ;

王传军 ;

周利民 ;

宋修庆 ;

沈月 ;

普志辉 ;

许彦婷 .

中国专利 :CN111304608A ,2020-06-19

[4]

一种铂镍合金溅射靶材及其制备方法 [P].

傅剑平 ;

赵健 ;

潘登 .

中国专利 :CN106282639B ,2017-01-04

[5]

AgPdCu合金及其制备方法、AgPdCu合金溅射靶材及其制备方法 [P].

张玉玲 ;

诸斌 .

中国专利 :CN111235425B ,2020-06-05

[6]

镍铂合金靶材及其制备方法 [P].

邵玲 ;

王广欣 ;

赵学义 .

中国专利 :CN104018120B ,2014-09-03

[7]

钼合金溅射靶材及其制备方法 [P].

王广达 ;

季鹏飞 ;

张丹华 ;

牛曼 ;

王凤权 ;

常洋 .

中国专利 :CN118048546A ,2024-05-17

[8]

一种镍铝合金溅射靶材及其热压制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

黄东长 .

中国专利 :CN115255367B ,2024-04-16

[9]

一种高性能镍铁合金溅射靶材及其制备方法 [P].

徐国进 ;

罗俊锋 ;

陈明 ;

李勇军 ;

丁照崇 ;

徐学礼 ;

张巧霞 ;

熊晓东 ;

何金江 .

中国专利 :CN105463395A ,2016-04-06

[10]

一种钼镍铜多元合金溅射靶材及其制备方法 [P].

吴吉娜 ;

武洲 ;

王娜 ;

朱琦 ;

张铁军 ;

付静波 ;

赵虎 .

中国专利 :CN110670032A ,2020-01-10

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