感应耦合等离子体处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN03146075.5

申请日：

2003-07-21

公开(公告)号：

CN1320596C

公开(公告)日：

2004-02-25

发明(设计)人：

里吉务

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

H01L213065 G02F1136

代理机构：

北京纪凯知识产权代理有限公司

代理人：

龙淳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2004-02-25	公开	公开
2005-08-24	实质审查的生效	实质审查的生效
2007-06-06	授权	授权

共 50 条

[1]

感应耦合等离子体处理装置 [P].

佐佐木和男 .

中国专利 :CN103094047A ,2013-05-08

[2]

感应耦合等离子体处理装置 [P].

佐佐木和男 .

中国专利 :CN101795528B ,2010-08-04

[3]

感应耦合等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

佐佐木和男 ;

齐藤均 ;

佐藤亮 .

中国专利 :CN101730375A ,2010-06-09

[4]

感应耦合等离子体处理装置 [P].

佐藤亮 ;

齐藤均 ;

山本浩司 .

中国专利 :CN101974735B ,2011-02-16

[5]

感应耦合等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

佐藤亮 ;

齐藤均 ;

山本浩司 .

中国专利 :CN101440484B ,2009-05-27

[6]

感应耦合等离子体处理装置 [P].

齐藤均 ;

佐藤亮 .

中国专利 :CN101583234A ,2009-11-18

[7]

感应耦合等离子体处理装置 [P].

齐藤均 ;

佐藤亮 .

中国专利 :CN102724803A ,2012-10-10

[8]

感应耦合等离子体处理方法和感应耦合等离子体处理装置 [P].

佐藤亮 ;

齐藤均 .

中国专利 :CN103247510B ,2013-08-14

[9]

感应耦合等离子体处理装置 [P].

笠原稔大 ;

山田洋平 ;

佐佐木和男 .

中国专利 :CN104299879A ,2015-01-21

[10]

感应耦合等离子体处理装置 [P].

金禹贤 ;

刘光钟 ;

卢德熙 ;

奇洞铉 ;

金荣必 ;

金正洙 ;

韩昌勋 ;

金大一 ;

俞道亨 .

中国专利 :CN115312367A ,2022-11-08

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