感应耦合等离子体处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210201923.4

申请日：

2009-05-14

公开(公告)号：

CN102724803A

公开(公告)日：

2012-10-10

发明(设计)人：

齐藤均佐藤亮

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H05H146

IPC分类号：

C23C1650 H01L2100

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-10-10	公开	公开
2017-06-13	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101753204926 IPC(主分类):H05H 1/46 专利申请号:2012102019234 申请公布日:20121010
2012-12-05	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101359125613 IPC(主分类):H05H 1/46 专利申请号:2012102019234 申请日:20090514

共 50 条

[1]

感应耦合等离子体处理装置 [P].

齐藤均 ;

佐藤亮 .

中国专利 :CN101583234A ,2009-11-18

[2]

感应耦合等离子体处理装置 [P].

里吉务 .

中国专利 :CN1320596C ,2004-02-25

[3]

感应耦合等离子体处理装置 [P].

佐藤亮 ;

齐藤均 ;

山本浩司 .

中国专利 :CN101974735B ,2011-02-16

[4]

感应耦合等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

佐藤亮 ;

齐藤均 ;

山本浩司 .

中国专利 :CN101440484B ,2009-05-27

[5]

感应耦合等离子体处理方法和感应耦合等离子体处理装置 [P].

佐藤亮 ;

齐藤均 .

中国专利 :CN103247510B ,2013-08-14

[6]

感应耦合等离子体处理装置 [P].

佐佐木和男 .

中国专利 :CN103094047A ,2013-05-08

[7]

感应耦合等离子体处理装置 [P].

笠原稔大 ;

山田洋平 ;

佐佐木和男 .

中国专利 :CN104299879A ,2015-01-21

[8]

感应耦合等离子体处理装置 [P].

佐佐木和男 .

中国专利 :CN101795528B ,2010-08-04

[9]

电感耦合等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

斋藤均 ;

佐藤亮 .

中国专利 :CN101076220B ,2007-11-21

[10]

感应耦合等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

佐佐木和男 ;

齐藤均 ;

佐藤亮 .

中国专利 :CN101730375A ,2010-06-09

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