MEMS气体传感器及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510083553.2

申请日：

2015-02-16

公开(公告)号：

CN105987935A

公开(公告)日：

2016-10-05

发明(设计)人：

张绍达高胜国钟克创古瑞琴

申请人：

申请人地址：

450000 河南省郑州市高新技术开发区金梭路299号

IPC主分类号：

G01N2704

IPC分类号：

B81C100

代理机构：

深圳中一专利商标事务所 44237

代理人：

陈宇

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-10-05	公开	公开
2019-08-23	授权	授权
2016-11-09	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101686679554 IPC(主分类):G01N 27/04 专利申请号:2015100835532 申请日:20150216

共 50 条

[1]

MEMS气体传感器 [P].

张绍达 ;

高胜国 ;

钟克创 ;

古瑞琴 .

中国专利 :CN204694669U ,2015-10-07

[2]

一种MEMS气体传感器及其制作方法 [P].

祁明锋 ;

张珽 ;

沈方平 ;

刘瑞 ;

丁海燕 ;

谷文 .

中国专利 :CN104181203B ,2014-12-03

[3]

一种MEMS气体传感器 [P].

祁明锋 ;

张珽 ;

沈方平 ;

刘瑞 ;

丁海燕 ;

谷文 .

中国专利 :CN204128996U ,2015-01-28

[4]

一种MEMS气体传感器及其加工方法 [P].

沈方平 ;

张珽 ;

祁明锋 ;

刘瑞 ;

丁海燕 ;

谷文 .

中国专利 :CN104142359A ,2014-11-12

[5]

一种MEMS气体传感器 [P].

沈方平 ;

张珽 ;

祁明锋 ;

刘瑞 ;

丁海燕 ;

谷文 .

中国专利 :CN204129000U ,2015-01-28

[6]

MEMS气体传感器及其制作方法 [P].

马天军 ;

李娜 ;

孙建海 ;

薛宁 ;

张淼 ;

程建群 ;

孙旭光 ;

方刚 .

中国专利 :CN118392945A ,2024-07-26

[7]

MEMS气体传感器及其制作方法 [P].

马天军 ;

李娜 ;

孙建海 ;

薛宁 ;

张淼 ;

程建群 ;

孙旭光 ;

方刚 .

中国专利 :CN118392945B ,2024-10-22

[8]

一种气体传感器及其制作方法 [P].

王子栋 ;

孔庆凯 ;

王清坤 ;

辛宏伟 .

中国专利 :CN117890441A ,2024-04-16

[9]

MEMS气体传感器芯片、传感器及传感器的制备方法 [P].

刘宇航 ;

刘立滨 ;

李平 ;

许诺 .

中国专利 :CN108844652A ,2018-11-20

[10]

一种MEMS气体传感器及其制作方法 [P].

李明杰 ;

罗文昕 .

中国专利 :CN117890437A ,2024-04-16

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