一种MEMS气体传感器及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410397034.9

申请日：

2014-08-13

公开(公告)号：

CN104181203B

公开(公告)日：

2014-12-03

发明(设计)人：

祁明锋张珽沈方平刘瑞丁海燕谷文

申请人：

申请人地址：

215123 江苏省苏州市工业园区若水路398号C517

IPC主分类号：

G01N2700

IPC分类号：

B81B700 B81C100

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

郝传鑫

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-12-31	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101593543769 IPC(主分类):G01N 27/00 专利申请号:2014103970349 申请日:20140813
2017-12-22	授权	授权
2021-08-27	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):G01N 27/00 变更事项:发明人变更前:祁明锋张珽沈方平刘瑞丁海燕谷文变更后:祁明锋沈方平刘瑞丁海燕谷文
2014-12-03	公开	公开

共 50 条

[1]

一种MEMS气体传感器 [P].

祁明锋 ;

张珽 ;

沈方平 ;

刘瑞 ;

丁海燕 ;

谷文 .

中国专利 :CN204128996U ,2015-01-28

[2]

MEMS气体传感器及其制作方法 [P].

张绍达 ;

高胜国 ;

钟克创 ;

古瑞琴 .

中国专利 :CN105987935A ,2016-10-05

[3]

一种MEMS气体传感器及其加工方法 [P].

沈方平 ;

张珽 ;

祁明锋 ;

刘瑞 ;

丁海燕 ;

谷文 .

中国专利 :CN104142359A ,2014-11-12

[4]

一种MEMS气体传感器 [P].

沈方平 ;

张珽 ;

祁明锋 ;

刘瑞 ;

丁海燕 ;

谷文 .

中国专利 :CN204129000U ,2015-01-28

[5]

MEMS气体传感器 [P].

张绍达 ;

高胜国 ;

钟克创 ;

古瑞琴 .

中国专利 :CN204694669U ,2015-10-07

[6]

一种气体传感器及其制作方法 [P].

王子栋 ;

孔庆凯 ;

王清坤 ;

辛宏伟 .

中国专利 :CN117890441A ,2024-04-16

[7]

MEMS气体传感器及其制作方法 [P].

马天军 ;

李娜 ;

孙建海 ;

薛宁 ;

张淼 ;

程建群 ;

孙旭光 ;

方刚 .

中国专利 :CN118392945A ,2024-07-26

[8]

MEMS气体传感器及其制作方法 [P].

马天军 ;

李娜 ;

孙建海 ;

薛宁 ;

张淼 ;

程建群 ;

孙旭光 ;

方刚 .

中国专利 :CN118392945B ,2024-10-22

[9]

一种MEMS气体传感器及其制作方法 [P].

李明杰 ;

罗文昕 .

中国专利 :CN117890437A ,2024-04-16

[10]

MEMS气体传感器芯片、传感器及传感器的制备方法 [P].

刘宇航 ;

刘立滨 ;

李平 ;

许诺 .

中国专利 :CN108844652A ,2018-11-20

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