一种复合类金刚石碳膜及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710302800.2

申请日：

2017-05-03

公开(公告)号：

CN107034440B

公开(公告)日：

2017-08-11

发明(设计)人：

张世宏赵培云李福星陈蒙

申请人：

申请人地址：

243000 安徽省马鞍山市博望丹阳工业园

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1416 C23C1406 C23C1626 C23C1402 C23C2804

代理机构：

马鞍山市金桥专利代理有限公司 34111

代理人：

唐宗才

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-09-17	授权	授权
2017-09-05	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101745816787 IPC(主分类):C23C 14/35 专利申请号:2017103028002 申请日:20170503
2017-08-11	公开	公开

共 50 条

[1]

类金刚石碳膜及其制备方法 [P].

洪昭南 ;

徐逸明 ;

王亮钧 ;

李志勇 ;

陈彦政 ;

陈俊钦 ;

李家欣 ;

王俊尧 ;

梁国超 .

中国专利 :CN1782123A ,2006-06-07

[2]

去除类金刚石碳膜的方法 [P].

萧博元 .

中国专利 :CN101058894B ,2007-10-24

[3]

类金刚石碳膜成膜装置及形成类金刚石碳膜的方法 [P].

大竹尚登 ;

松尾诚 ;

岩本喜直 .

中国专利 :CN102112650A ,2011-06-29

[4]

一种含铝类金刚石碳膜及其制备方法 [P].

王立平 ;

张广安 ;

薛群基 .

中国专利 :CN101665904A ,2010-03-10

[5]

类金刚石碳膜的处理方法 [P].

王汉德 .

中国专利 :CN120366725A ,2025-07-25

[6]

类金刚石碳膜的去除方法 [P].

赵伟 .

中国专利 :CN118553598A ,2024-08-27

[7]

类金刚石碳膜的处理方法 [P].

赵伟 .

中国专利 :CN120210732A ,2025-06-27

[8]

类金刚石碳膜沉积设备 [P].

李贤兵 .

中国专利 :CN307396586S ,2022-06-10

[9]

一种退除钢铁表面类金刚石碳膜的方法 [P].

汪爱英 ;

张栋 ;

孙丽丽 .

中国专利 :CN101629319A ,2010-01-20

[10]

类金刚石碳膜的表面加工方法 [P].

王银果 .

中国专利 :CN120556001A ,2025-08-29

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