类金刚石碳膜及其制备方法

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专利类型
发明
申请号
CN200410096585.8
申请日
2004-12-03
公开(公告)号
CN1782123A
公开(公告)日
2006-06-07
发明(设计)人
洪昭南 徐逸明 王亮钧 李志勇 陈彦政 陈俊钦 李家欣 王俊尧 梁国超
申请人
申请人地址
台湾省台南县永康市亚太工业区中正路279巷21弄59号
IPC主分类号
C23C1626
IPC分类号
C23C1627 C23C1602 C23C16513
代理机构
北京三友知识产权代理有限公司
代理人
黄健
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
类金刚石碳膜成膜装置及形成类金刚石碳膜的方法 [P]. 
大竹尚登 ;
松尾诚 ;
岩本喜直 .
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[2]
类金刚石碳膜的表面加工方法 [P]. 
王银果 .
中国专利 :CN120556001A ,2025-08-29
[3]
含氢类金刚石碳薄膜材料的制备方法 [P]. 
吉利 ;
李红轩 ;
陈建敏 ;
周惠娣 ;
王永霞 ;
刘晓红 .
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[4]
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王汉德 .
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[5]
类金刚石碳膜的去除方法 [P]. 
赵伟 .
中国专利 :CN118553598A ,2024-08-27
[6]
类金刚石碳膜的处理方法 [P]. 
赵伟 .
中国专利 :CN120210732A ,2025-06-27
[7]
去除类金刚石碳膜的方法 [P]. 
萧博元 .
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[8]
类金刚石碳膜沉积设备 [P]. 
李贤兵 .
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[9]
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李福星 ;
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[10]
类金刚石碳膜的表面加工方法 [P]. 
刘中武 .
中国专利 :CN120366728A ,2025-07-25