一种光阻剥离液及剥离工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110862738.9

申请日：

2021-07-29

公开(公告)号：

CN113589661A

公开(公告)日：

2021-11-02

发明(设计)人：

陈林徐杨李茜茜李涛李登涛靳海仲邵勇殷福华浦陈龙朱永刚

申请人：

申请人地址：

214400 江苏省无锡市江阴市周庄镇长寿云顾路581号

IPC主分类号：

G03F742

IPC分类号：

代理机构：

无锡坚恒专利代理事务所(普通合伙) 32348

代理人：

杜兴

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-19	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/42 申请日:20210729
2021-11-02	公开	公开

共 50 条

[1]

一种光阻剥离液及剥离工艺 [P].

陈林 ;

徐杨 ;

李茜茜 ;

李涛 ;

李登涛 ;

靳海仲 ;

邵勇 ;

殷福华 ;

浦陈龙 ;

朱永刚 .

中国专利 :CN113589661B ,2024-03-08

[2]

光阻剥离液组合物及其应用 [P].

刘骐铭 ;

施俊安 .

中国专利 :CN103293883A ,2013-09-11

[3]

光阻剥离液组成物及使用其剥离光阻的方法 [P].

朴勉奎 ;

金泰熙 ;

金正铉 ;

李承傭 ;

金炳默 .

中国专利 :CN102472985B ,2012-05-23

[4]

两层光阻剥离工艺 [P].

居碧玉 .

中国专利 :CN105573050A ,2016-05-11

[5]

一种光阻剥离方法 [P].

王建刚 .

中国专利 :CN109671617B ,2019-04-23

[6]

油墨剥离液及线路板油墨的剥离工艺 [P].

莫庆生 .

中国专利 :CN114276712A ,2022-04-05

[7]

光致抗蚀剂剥离液及剥离方法 [P].

武田贵志 ;

荒野明男 .

中国专利 :CN1289416A ,2001-03-28

[8]

一种用于光刻胶剥离的剥离液 [P].

鄢艳华 ;

康威 .

中国专利 :CN104317172A ,2015-01-28

[9]

一种可再生光刻胶剥离液及其制备方法 [P].

陈美玲 ;

卢燕燕 ;

张丽燕 .

中国专利 :CN118732424B ,2025-04-15

[10]

一种可再生光刻胶剥离液及其制备方法 [P].

陈美玲 ;

卢燕燕 ;

张丽燕 .

中国专利 :CN118732424A ,2024-10-01

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