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光阻剥离液组成物及使用其剥离光阻的方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201080034160.8
申请日
:
2010-08-10
公开(公告)号
:
CN102472985B
公开(公告)日
:
2012-05-23
发明(设计)人
:
朴勉奎
金泰熙
金正铉
李承傭
金炳默
申请人
:
申请人地址
:
韩国全罗北道
IPC主分类号
:
G03F742
IPC分类号
:
代理机构
:
北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270
代理人
:
武晨燕;周义刚
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2014-01-08
授权
授权
2012-05-23
公开
公开
2012-09-12
实质审查的生效
实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101324730794 IPC(主分类):G03F 7/42 专利申请号:2010800341608 申请日:20100810
共 50 条
[1]
光阻剥离剂组成物
[P].
朴永真
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0
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0
朴永真
;
韩斗锡
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韩斗锡
;
李相大
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李相大
;
申孝燮
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申孝燮
.
中国专利
:CN102893218B
,2013-01-23
[2]
非水系光阻剥离剂组成物
[P].
朴勉奎
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0
朴勉奎
;
金正铉
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金正铉
;
李承傭
论文数:
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李承傭
;
金炳默
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金炳默
.
中国专利
:CN102667628A
,2012-09-12
[3]
剥离剂组成物以及剥离光阻的方法
[P].
何启良
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机构:
新应材股份有限公司
新应材股份有限公司
何启良
;
蒋昀儒
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机构:
新应材股份有限公司
新应材股份有限公司
蒋昀儒
;
许庭睿
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机构:
新应材股份有限公司
新应材股份有限公司
许庭睿
;
蔡明佳
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机构:
新应材股份有限公司
新应材股份有限公司
蔡明佳
.
中国专利
:CN119432510A
,2025-02-14
[4]
剥离光阻用组成物及其使用方法
[P].
刘骐铭
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刘骐铭
;
施俊安
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施俊安
.
中国专利
:CN104122763A
,2014-10-29
[5]
用于去除光阻剂的剥离剂组合物及使用其剥离光阻剂的方法
[P].
郑大哲
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郑大哲
;
李东勋
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李东勋
;
李佑然
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李佑然
;
朴泰文
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朴泰文
.
中国专利
:CN105143984B
,2015-12-09
[6]
一种光阻剥离液及剥离工艺
[P].
陈林
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机构:
江阴江化微电子材料股份有限公司
江阴江化微电子材料股份有限公司
陈林
;
徐杨
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机构:
江阴江化微电子材料股份有限公司
江阴江化微电子材料股份有限公司
徐杨
;
李茜茜
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机构:
江阴江化微电子材料股份有限公司
江阴江化微电子材料股份有限公司
李茜茜
;
李涛
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机构:
江阴江化微电子材料股份有限公司
江阴江化微电子材料股份有限公司
李涛
;
李登涛
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机构:
江阴江化微电子材料股份有限公司
江阴江化微电子材料股份有限公司
李登涛
;
靳海仲
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机构:
江阴江化微电子材料股份有限公司
江阴江化微电子材料股份有限公司
靳海仲
;
邵勇
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机构:
江阴江化微电子材料股份有限公司
江阴江化微电子材料股份有限公司
邵勇
;
殷福华
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机构:
江阴江化微电子材料股份有限公司
江阴江化微电子材料股份有限公司
殷福华
;
浦陈龙
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机构:
江阴江化微电子材料股份有限公司
江阴江化微电子材料股份有限公司
浦陈龙
;
朱永刚
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机构:
江阴江化微电子材料股份有限公司
江阴江化微电子材料股份有限公司
朱永刚
.
中国专利
:CN113589661B
,2024-03-08
[7]
一种光阻剥离液及剥离工艺
[P].
陈林
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陈林
;
徐杨
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徐杨
;
李茜茜
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李茜茜
;
李涛
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李涛
;
李登涛
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李登涛
;
靳海仲
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靳海仲
;
邵勇
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邵勇
;
殷福华
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殷福华
;
浦陈龙
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浦陈龙
;
朱永刚
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朱永刚
.
中国专利
:CN113589661A
,2021-11-02
[8]
光阻剥离液组合物及其应用
[P].
刘骐铭
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0
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0
刘骐铭
;
施俊安
论文数:
0
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0
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0
施俊安
.
中国专利
:CN103293883A
,2013-09-11
[9]
光阻组成物
[P].
訾安仁
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訾安仁
;
张庆裕
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张庆裕
;
林进祥
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0
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林进祥
.
中国专利
:CN110874016A
,2020-03-10
[10]
光阻组成物及形成光阻图案的方法
[P].
刘朕与
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刘朕与
;
张庆裕
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0
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0
张庆裕
;
林进祥
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0
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林进祥
.
中国专利
:CN110955112A
,2020-04-03
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