光阻剥离液组成物及使用其剥离光阻的方法

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专利类型
发明
申请号
CN201080034160.8
申请日
2010-08-10
公开(公告)号
CN102472985B
公开(公告)日
2012-05-23
发明(设计)人
朴勉奎 金泰熙 金正铉 李承傭 金炳默
申请人
申请人地址
韩国全罗北道
IPC主分类号
G03F742
IPC分类号
代理机构
北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270
代理人
武晨燕;周义刚
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
光阻剥离剂组成物 [P]. 
朴永真 ;
韩斗锡 ;
李相大 ;
申孝燮 .
中国专利 :CN102893218B ,2013-01-23
[2]
非水系光阻剥离剂组成物 [P]. 
朴勉奎 ;
金正铉 ;
李承傭 ;
金炳默 .
中国专利 :CN102667628A ,2012-09-12
[3]
剥离剂组成物以及剥离光阻的方法 [P]. 
何启良 ;
蒋昀儒 ;
许庭睿 ;
蔡明佳 .
中国专利 :CN119432510A ,2025-02-14
[4]
剥离光阻用组成物及其使用方法 [P]. 
刘骐铭 ;
施俊安 .
中国专利 :CN104122763A ,2014-10-29
[5]
用于去除光阻剂的剥离剂组合物及使用其剥离光阻剂的方法 [P]. 
郑大哲 ;
李东勋 ;
李佑然 ;
朴泰文 .
中国专利 :CN105143984B ,2015-12-09
[6]
一种光阻剥离液及剥离工艺 [P]. 
陈林 ;
徐杨 ;
李茜茜 ;
李涛 ;
李登涛 ;
靳海仲 ;
邵勇 ;
殷福华 ;
浦陈龙 ;
朱永刚 .
中国专利 :CN113589661B ,2024-03-08
[7]
一种光阻剥离液及剥离工艺 [P]. 
陈林 ;
徐杨 ;
李茜茜 ;
李涛 ;
李登涛 ;
靳海仲 ;
邵勇 ;
殷福华 ;
浦陈龙 ;
朱永刚 .
中国专利 :CN113589661A ,2021-11-02
[8]
光阻剥离液组合物及其应用 [P]. 
刘骐铭 ;
施俊安 .
中国专利 :CN103293883A ,2013-09-11
[9]
光阻组成物 [P]. 
訾安仁 ;
张庆裕 ;
林进祥 .
中国专利 :CN110874016A ,2020-03-10
[10]
光阻组成物及形成光阻图案的方法 [P]. 
刘朕与 ;
张庆裕 ;
林进祥 .
中国专利 :CN110955112A ,2020-04-03