静电吸盘

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110460424.2

申请日：

2011-12-28

公开(公告)号：

CN102543816B

公开(公告)日：

2012-07-04

发明(设计)人：

南雅人佐佐木芳彦

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;张会华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-07-04	公开	公开
2012-09-05	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101322517381 IPC(主分类):H01L 21/683 专利申请号:2011104604242 申请日:20111228
2015-04-29	授权	授权

共 50 条

[1]

静电吸盘 [P].

平山昌树 ;

板垣哲朗 .

中国专利 :CN115605989A ,2023-01-13

[2]

静电吸盘 [P].

富冈武敏 .

日本专利 :CN119731777A ,2025-03-28

[3]

静电吸盘 [P].

森冈育久 ;

鹤田英芳 ;

川尻哲也 ;

鸟越猛 .

中国专利 :CN100492609C ,2007-06-27

[4]

静电吸盘 [P].

池口雅文 ;

糸山哲朗 ;

西愿修一郎 ;

白石纯 .

日本专利 :CN120300053A ,2025-07-11

[5]

静电吸盘 [P].

池口雅文 ;

糸山哲朗 ;

西愿修一郎 ;

白石纯 .

日本专利 :CN111508885B ,2025-03-25

[6]

静电吸盘 [P].

西本伸也 ;

中山博之 ;

木村英利 .

中国专利 :CN1624892A ,2005-06-08

[7]

静电吸盘 [P].

丹尼尔·马丁 ;

莫妮卡·阿加沃 .

中国专利 :CN302220493S ,2012-12-05

[8]

静电吸盘的制造方法及静电吸盘 [P].

金淳勋 ;

李知善 ;

张泰范 ;

崔恩祯 .

中国专利 :CN109768008A ,2019-05-17

[9]

静电吸盘的制造方法 [P].

伍三忠 ;

胡振东 ;

谢均宇 .

中国专利 :CN101764078A ,2010-06-30

[10]

静电吸盘装置 [P].

平山昌树 ;

板垣哲朗 .

中国专利 :CN115552589A ,2022-12-30

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