静电吸盘

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专利类型
发明
申请号
CN200410096922.3
申请日
2004-12-06
公开(公告)号
CN1624892A
公开(公告)日
2005-06-08
发明(设计)人
西本伸也 中山博之 木村英利
申请人
申请人地址
日本东京都
IPC主分类号
H01L2168
IPC分类号
B23Q315
代理机构
北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人
龙淳;邸万杰
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
静电吸盘 [P]. 
森冈育久 ;
鹤田英芳 ;
川尻哲也 ;
鸟越猛 .
中国专利 :CN100492609C ,2007-06-27
[2]
静电吸盘 [P]. 
籾山大 ;
佐佐木均 .
日本专利 :CN110783251B ,2025-03-11
[3]
静电吸盘 [P]. 
籾山大 ;
佐佐木均 .
中国专利 :CN110783251A ,2020-02-11
[4]
静电吸盘 [P]. 
张巨先 .
中国专利 :CN215815827U ,2022-02-11
[5]
静电吸盘 [P]. 
南雅人 ;
佐佐木芳彦 .
中国专利 :CN102543816B ,2012-07-04
[6]
静电吸盘和包括其的静电吸盘装置 [P]. 
李相起 ;
森谷义明 .
中国专利 :CN111446197A ,2020-07-24
[7]
陶瓷基板、静电吸盘以及静电吸盘的制造方法 [P]. 
峰村知刚 .
日本专利 :CN113248288B ,2024-05-17
[8]
陶瓷基板、静电吸盘以及静电吸盘的制造方法 [P]. 
峰村知刚 .
中国专利 :CN113248288A ,2021-08-13
[9]
静电吸盘 [P]. 
小野浩司 .
中国专利 :CN102834913B ,2012-12-19
[10]
静电吸盘 [P]. 
糸山哲朗 ;
上藤淳平 .
中国专利 :CN111668149A ,2020-09-15