静电吸盘和包括其的静电吸盘装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010041910.X

申请日：

2020-01-15

公开(公告)号：

CN111446197A

公开(公告)日：

2020-07-24

发明(设计)人：

李相起森谷义明

申请人：

申请人地址：

韩国忠清南道天安市西北区稷山邑四产团五77

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

代理机构：

上海和跃知识产权代理事务所(普通合伙) 31239

代理人：

侯聪

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-08-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20200115
2020-07-24	公开	公开

共 50 条

[1]

静电吸盘单元和包括该静电吸盘单元的沉积设备 [P].

宋珉澈 ;

高晙赫 ;

姜敏求 ;

金义圭 ;

柳锡河 ;

赵荣善 .

韩国专利 :CN117947396A ,2024-04-30

[2]

静电吸盘装置 [P].

平山昌树 ;

板垣哲朗 .

中国专利 :CN115552589A ,2022-12-30

[3]

静电吸盘装置 [P].

金原勇贵 ;

乾敏祥 ;

一由拓 ;

菅又彻 .

日本专利 :CN120883352A ,2025-10-31

[4]

静电吸盘 [P].

佐藤真树 ;

板仓郁夫 ;

西愿修一郎 ;

白石纯 ;

籾山大 ;

小林幸太 .

日本专利 :CN113994462B ,2025-10-28

[5]

静电吸盘 [P].

辰己良昭 ;

藤泽博 .

中国专利 :CN102160165B ,2011-08-17

[6]

静电吸盘 [P].

樱井亮辅 ;

佐野启祐 ;

池口雅文 ;

白石纯 ;

板仓郁夫 ;

籾山大 .

日本专利 :CN118712115A ,2024-09-27

[7]

静电吸盘 [P].

佐佐木雄基 ;

白石纯 ;

籾山大 ;

板仓郁夫 ;

佐佐木均 .

日本专利 :CN120376489A ,2025-07-25

[8]

静电吸盘 [P].

佐藤真树 ;

板仓郁夫 ;

西愿修一郎 ;

白石纯 ;

籾山大 ;

小林幸太 .

中国专利 :CN113994462A ,2022-01-28

[9]

静电吸盘 [P].

佐佐木雄基 ;

白石纯 ;

籾山大 ;

板仓郁夫 ;

佐佐木均 .

日本专利 :CN120376493A ,2025-07-25

[10]

静电吸盘 [P].

南雅人 ;

佐佐木芳彦 .

中国专利 :CN102543816B ,2012-07-04

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