静电吸盘装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202480019808.6

申请日：

2024-05-14

公开(公告)号：

CN120883352A

公开(公告)日：

2025-10-31

发明(设计)人：

金原勇贵乾敏祥一由拓菅又彻

申请人：

住友大阪水泥股份有限公司

申请人地址：

日本国东京都

IPC主分类号：

H01L21/683

IPC分类号：

H02N13/00

代理机构：

上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291

代理人：

杨楷;毛立群

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-31	公开	公开
2025-11-18	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/683申请日:20240514

共 50 条

[1]

静电吸盘装置、静电吸盘装置用套筒 [P].

山崎允义 .

日本专利 :CN115244678B ,2025-11-18

[2]

静电吸盘装置 [P].

平山昌树 ;

板垣哲朗 .

中国专利 :CN115552589A ,2022-12-30

[3]

静电吸盘和包括其的静电吸盘装置 [P].

李相起 ;

森谷义明 .

中国专利 :CN111446197A ,2020-07-24

[4]

静电吸盘 [P].

佐藤真树 ;

板仓郁夫 ;

西愿修一郎 ;

白石纯 ;

籾山大 ;

小林幸太 .

日本专利 :CN113994462B ,2025-10-28

[5]

静电吸盘 [P].

辰己良昭 ;

藤泽博 .

中国专利 :CN102160165B ,2011-08-17

[6]

静电吸盘 [P].

樱井亮辅 ;

佐野启祐 ;

池口雅文 ;

白石纯 ;

板仓郁夫 ;

籾山大 .

日本专利 :CN118712115A ,2024-09-27

[7]

静电吸盘 [P].

佐佐木雄基 ;

白石纯 ;

籾山大 ;

板仓郁夫 ;

佐佐木均 .

日本专利 :CN120376489A ,2025-07-25

[8]

静电吸盘 [P].

佐藤真树 ;

板仓郁夫 ;

西愿修一郎 ;

白石纯 ;

籾山大 ;

小林幸太 .

中国专利 :CN113994462A ,2022-01-28

[9]

静电吸盘 [P].

佐佐木雄基 ;

白石纯 ;

籾山大 ;

板仓郁夫 ;

佐佐木均 .

日本专利 :CN120376493A ,2025-07-25

[10]

静电吸盘装置 [P].

藤井佳词 .

中国专利 :CN101278385A ,2008-10-01

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