静电吸盘装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200580037607.6

申请日：

2005-10-27

公开(公告)号：

CN101278385A

公开(公告)日：

2008-10-01

发明(设计)人：

藤井佳词

申请人：

申请人地址：

日本神奈川

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：

许海兰

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-10-12	授权	授权
2008-11-26	实质审查的生效	实质审查的生效
2008-10-01	公开	公开

共 50 条

[1]

静电吸盘装置 [P].

稻妻地浩 ;

小坂井守 ;

三浦幸夫 ;

牧惠吾 .

中国专利 :CN101501834B ,2009-08-05

[2]

静电吸盘 [P].

辛长林 ;

金巨万 ;

张现福 .

中国专利 :CN309112271S ,2025-02-14

[3]

静电吸盘装置、静电吸盘装置用套筒 [P].

山崎允义 .

日本专利 :CN115244678B ,2025-11-18

[4]

静电吸盘及处理装置 [P].

高畠刚 ;

中筋智博 ;

伊藤亮 ;

瀬户健太郎 ;

大本豊 ;

北田裕穗 ;

田中一海 .

日本专利 :CN114981949B ,2025-10-03

[5]

静电吸盘装置 [P].

河野仁 ;

高桥健太郎 ;

牛坊文洋 .

中国专利 :CN106716619A ,2017-05-24

[6]

静电吸盘装置 [P].

平山昌树 ;

板垣哲朗 .

中国专利 :CN115552589A ,2022-12-30

[7]

静电吸盘装置 [P].

金原勇贵 ;

乾敏祥 ;

一由拓 ;

菅又彻 .

日本专利 :CN120883352A ,2025-10-31

[8]

静电吸盘装置 [P].

李暎雨 .

中国专利 :CN111326468A ,2020-06-23

[9]

柔性静电吸盘 [P].

雷勇 ;

杜世伦 ;

张耀文 .

中国专利 :CN113562091B ,2021-10-29

[10]

静电吸盘和应用了静电吸盘的样品处理方法及装置 [P].

菅野诚一郎 ;

臼井建人 ;

吉冈健 ;

金井三郎 ;

伊藤阳一 .

中国专利 :CN1178392A ,1998-04-08

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