静电吸盘装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201580051119.4

申请日：

2015-09-24

公开(公告)号：

CN106716619A

公开(公告)日：

2017-05-24

发明(设计)人：

河野仁高桥健太郎牛坊文洋

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21683

IPC分类号：

H01L213065 H02N1300 B23Q315

代理机构：

中原信达知识产权代理有限责任公司 11219

代理人：

方应星;高培培

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-09-15	授权	授权
2017-05-24	公开	公开
2017-10-13	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101751680930 IPC(主分类):H01L 21/683 专利申请号:2015800511194 申请日:20150924

共 50 条

[1]

静电吸盘装置、静电吸盘装置用套筒 [P].

山崎允义 .

日本专利 :CN115244678B ,2025-11-18

[2]

静电吸盘装置 [P].

藤井佳词 .

中国专利 :CN101278385A ,2008-10-01

[3]

静电吸盘装置 [P].

平山昌树 ;

板垣哲朗 .

中国专利 :CN115552589A ,2022-12-30

[4]

静电吸盘装置 [P].

金原勇贵 ;

乾敏祥 ;

一由拓 ;

菅又彻 .

日本专利 :CN120883352A ,2025-10-31

[5]

静电吸盘装置 [P].

稻妻地浩 ;

小坂井守 ;

三浦幸夫 ;

牧惠吾 .

中国专利 :CN101501834B ,2009-08-05

[6]

静电吸盘装置 [P].

李暎雨 .

中国专利 :CN111326468A ,2020-06-23

[7]

静电吸盘和包括其的静电吸盘装置 [P].

李相起 ;

森谷义明 .

中国专利 :CN111446197A ,2020-07-24

[8]

静电吸盘的静电释放装置 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN208923080U ,2019-05-31

[9]

静电吸盘 [P].

张巨先 .

中国专利 :CN215815827U ,2022-02-11

[10]

静电吸盘 [P].

小野浩司 .

中国专利 :CN102834913B ,2012-12-19

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