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静电吸盘装置、静电吸盘装置用套筒
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202180019517.3
申请日：
2021-03-05
公开(公告)号：
CN115244678B
公开(公告)日：
2025-11-18
发明(设计)人：
山崎允义
申请人：
巴川集团股份有限公司
申请人地址：
日本东京
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
代理机构：
北京康信知识产权代理有限责任公司 11240
代理人：
赵雨桐
法律状态：
著录事项变更
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-11-07 | 著录事项变更 | 著录事项变更IPC(主分类):H01L 21/683变更事项:申请人变更前:株式会社巴川制纸所变更后:巴川集团股份有限公司变更事项:国家或地区变更前:日本变更后:日本变更事项:地址变更前:日本东京变更后:日本东京 |
| 2025-11-18 | 授权 | 授权 |