一种具有破片检测的晶圆输送设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110151640.9

申请日：

2011-06-08

公开(公告)号：

CN102222605B

公开(公告)日：

2011-10-19

发明(设计)人：

吴惠荣许力仁李允仁

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州高新区竹园路9-1号狮山工业园六号厂房

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

H01L21677

代理机构：

北京天平专利商标代理有限公司 11239

代理人：

孙刚

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-10-19	公开	公开
2013-05-15	授权	授权
2021-05-18	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/00 申请日:20110608 授权公告日:20130515 终止日期:20200608
2011-11-30	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101145709795 IPC(主分类):H01L 21/00 专利申请号:2011101516409 申请日:20110608

共 50 条

[1]

一种圆晶检测输送装置 [P].

张俊 ;

李凤丽 .

中国专利 :CN222705482U ,2025-04-01

[2]

一种圆晶检测输送装置 [P].

笪晨 ;

罗墉 ;

罗文进 ;

张玉恒 .

中国专利 :CN220290772U ,2024-01-02

[3]

一种背板玻璃破片在线检测输送设备 [P].

皮腾 ;

王庆林 ;

康小朋 ;

向阳 ;

施江林 .

中国专利 :CN220346560U ,2024-01-16

[4]

一种晶圆检测用输送装置 [P].

吴龙军 .

中国专利 :CN212659509U ,2021-03-05

[5]

晶圆检测系统及晶圆检测设备 [P].

陈韦志 ;

游本懋 ;

林怡彦 .

中国专利 :CN212967612U ,2021-04-13

[6]

晶圆检测系统及晶圆检测设备 [P].

陈韦志 ;

游本懋 ;

林怡彦 .

中国专利 :CN114093787A ,2022-02-25

[7]

一种晶圆输送装置及晶圆湿法处理设备 [P].

庞立娟 .

中国专利 :CN114628294A ,2022-06-14

[8]

晶圆检测系统及晶圆检测设备 [P].

陈韦志 ;

游本懋 ;

林怡彦 .

中国专利 :CN114093787B ,2025-07-11

[9]

一种晶圆边缘检测设备 [P].

柯武生 ;

王汉波 ;

郭军 .

中国专利 :CN216773184U ,2022-06-17

[10]

晶圆机械手以及晶圆输送设备 [P].

黎佐兴 ;

杨福满 ;

杨洪生 ;

朱新华 ;

张晓军 .

中国专利 :CN223167471U ,2025-07-29

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