一种圆晶检测输送装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202421440283.7
申请日
2024-06-24
公开(公告)号
CN222705482U
公开(公告)日
2025-04-01
发明(设计)人
张俊 李凤丽
申请人
江苏芯格电子科技有限公司
申请人地址
214200 江苏省无锡市宜兴市屺亭街道凯旋路18号5号楼1楼
IPC主分类号
H01L21/677
IPC分类号
H01L21/687 H01L21/68
代理机构
合肥繁知新知识产权代理事务所(普通合伙) 34278
代理人
孟德洲
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种圆晶检测输送装置 [P]. 
笪晨 ;
罗墉 ;
罗文进 ;
张玉恒 .
中国专利 :CN220290772U ,2024-01-02
[2]
晶圆检测用辅助输送装置 [P]. 
朱伟 ;
张智良 .
中国专利 :CN220821513U ,2024-04-19
[3]
一种晶圆检测用输送装置 [P]. 
吴龙军 .
中国专利 :CN212659509U ,2021-03-05
[4]
一种晶圆检测设备的扩晶环供料装置 [P]. 
游勤兰 .
中国专利 :CN210572402U ,2020-05-19
[5]
一种晶圆输送装置 [P]. 
王阳 ;
魏猛 ;
张佳男 .
中国专利 :CN121096945A ,2025-12-09
[6]
一种晶圆输送装置 [P]. 
程胜 ;
张建伟 ;
徐东冬 .
中国专利 :CN221427693U ,2024-07-26
[7]
一种晶圆输送装置 [P]. 
曹承育 ;
张志平 .
中国专利 :CN108074847A ,2018-05-25
[8]
一种具有破片检测的晶圆输送设备 [P]. 
吴惠荣 ;
许力仁 ;
李允仁 .
中国专利 :CN102222605B ,2011-10-19
[9]
晶圆载具、晶圆输送装置及晶圆输送系统 [P]. 
谷泓毅 ;
陈顺利 ;
赵波 ;
张笑笑 .
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[10]
用于晶圆硅片的伸缩输送装置 [P]. 
杨宣教 .
中国专利 :CN209515630U ,2019-10-18