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一种圆晶检测输送装置
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN202421440283.7
申请日
:
2024-06-24
公开(公告)号
:
CN222705482U
公开(公告)日
:
2025-04-01
发明(设计)人
:
张俊
李凤丽
申请人
:
江苏芯格电子科技有限公司
申请人地址
:
214200 江苏省无锡市宜兴市屺亭街道凯旋路18号5号楼1楼
IPC主分类号
:
H01L21/677
IPC分类号
:
H01L21/687
H01L21/68
代理机构
:
合肥繁知新知识产权代理事务所(普通合伙) 34278
代理人
:
孟德洲
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2025-04-01
授权
授权
共 50 条
[1]
一种圆晶检测输送装置
[P].
笪晨
论文数:
0
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0
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机构:
易发智能装备(昆山)有限公司
易发智能装备(昆山)有限公司
笪晨
;
罗墉
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机构:
易发智能装备(昆山)有限公司
易发智能装备(昆山)有限公司
罗墉
;
罗文进
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0
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机构:
易发智能装备(昆山)有限公司
易发智能装备(昆山)有限公司
罗文进
;
张玉恒
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0
机构:
易发智能装备(昆山)有限公司
易发智能装备(昆山)有限公司
张玉恒
.
中国专利
:CN220290772U
,2024-01-02
[2]
晶圆检测用辅助输送装置
[P].
朱伟
论文数:
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机构:
苏州鑫睿微电子设备有限公司
苏州鑫睿微电子设备有限公司
朱伟
;
张智良
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机构:
苏州鑫睿微电子设备有限公司
苏州鑫睿微电子设备有限公司
张智良
.
中国专利
:CN220821513U
,2024-04-19
[3]
一种晶圆检测用输送装置
[P].
吴龙军
论文数:
0
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0
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0
吴龙军
.
中国专利
:CN212659509U
,2021-03-05
[4]
一种晶圆检测设备的扩晶环供料装置
[P].
游勤兰
论文数:
0
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0
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0
游勤兰
.
中国专利
:CN210572402U
,2020-05-19
[5]
一种晶圆输送装置
[P].
王阳
论文数:
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机构:
芯达半导体设备(苏州)有限公司
芯达半导体设备(苏州)有限公司
王阳
;
魏猛
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机构:
芯达半导体设备(苏州)有限公司
芯达半导体设备(苏州)有限公司
魏猛
;
张佳男
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机构:
芯达半导体设备(苏州)有限公司
芯达半导体设备(苏州)有限公司
张佳男
.
中国专利
:CN121096945A
,2025-12-09
[6]
一种晶圆输送装置
[P].
程胜
论文数:
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机构:
昆山瑞泰智能科技有限公司
昆山瑞泰智能科技有限公司
程胜
;
张建伟
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机构:
昆山瑞泰智能科技有限公司
昆山瑞泰智能科技有限公司
张建伟
;
徐东冬
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0
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机构:
昆山瑞泰智能科技有限公司
昆山瑞泰智能科技有限公司
徐东冬
.
中国专利
:CN221427693U
,2024-07-26
[7]
一种晶圆输送装置
[P].
曹承育
论文数:
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曹承育
;
张志平
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0
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0
张志平
.
中国专利
:CN108074847A
,2018-05-25
[8]
一种具有破片检测的晶圆输送设备
[P].
吴惠荣
论文数:
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吴惠荣
;
许力仁
论文数:
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许力仁
;
李允仁
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0
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0
李允仁
.
中国专利
:CN102222605B
,2011-10-19
[9]
晶圆载具、晶圆输送装置及晶圆输送系统
[P].
谷泓毅
论文数:
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机构:
浙江老鹰半导体技术有限公司
浙江老鹰半导体技术有限公司
谷泓毅
;
陈顺利
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机构:
浙江老鹰半导体技术有限公司
浙江老鹰半导体技术有限公司
陈顺利
;
赵波
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机构:
浙江老鹰半导体技术有限公司
浙江老鹰半导体技术有限公司
赵波
;
张笑笑
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机构:
浙江老鹰半导体技术有限公司
浙江老鹰半导体技术有限公司
张笑笑
.
中国专利
:CN223193774U
,2025-08-05
[10]
用于晶圆硅片的伸缩输送装置
[P].
杨宣教
论文数:
0
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杨宣教
.
中国专利
:CN209515630U
,2019-10-18
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