一种晶圆输送装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610988956.6

申请日：

2016-11-10

公开(公告)号：

CN108074847A

公开(公告)日：

2018-05-25

发明(设计)人：

曹承育张志平

申请人：

申请人地址：

开曼群岛大开曼岛2804号邮箱板球广场杨柳楼4楼

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

代理机构：

北京金之桥知识产权代理有限公司 11137

代理人：

林建军

法律状态：

发明专利申请公布后的撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-09-17	发明专利申请公布后的撤回	发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):H01L 21/677 申请公布日:20180525
2018-06-19	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20161110
2018-05-25	公开	公开

共 50 条

[1]

一种晶圆输送装置 [P].

王阳 ;

魏猛 ;

张佳男 .

中国专利 :CN121096945A ,2025-12-09

[2]

一种晶圆输送装置 [P].

程胜 ;

张建伟 ;

徐东冬 .

中国专利 :CN221427693U ,2024-07-26

[3]

晶圆载具、晶圆输送装置及晶圆输送系统 [P].

谷泓毅 ;

陈顺利 ;

赵波 ;

张笑笑 .

中国专利 :CN223193774U ,2025-08-05

[4]

晶圆输送装置 [P].

杜马峰 .

中国专利 :CN114256129A ,2022-03-29

[5]

晶圆输送装置 [P].

王燚 ;

刘亿军 .

中国专利 :CN204927255U ,2015-12-30

[6]

晶圆输送装置 [P].

林明峣 .

中国专利 :CN208014665U ,2018-10-26

[7]

一种晶圆生产输送装置 [P].

高洁 ;

钱长沛 .

中国专利 :CN222720374U ,2025-04-04

[8]

一种圆晶检测输送装置 [P].

笪晨 ;

罗墉 ;

罗文进 ;

张玉恒 .

中国专利 :CN220290772U ,2024-01-02

[9]

一种圆晶检测输送装置 [P].

张俊 ;

李凤丽 .

中国专利 :CN222705482U ,2025-04-01

[10]

一种晶圆输送盘及输送装置 [P].

胡仲波 ;

冯永 ;

李健儿 ;

蒋红全 ;

周建余 ;

敬春云 .

中国专利 :CN115579314A ,2023-01-06

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