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晶圆输送装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201520527507.2
申请日：
2015-07-20
公开(公告)号：
CN204927255U
公开(公告)日：
2015-12-30
发明(设计)人：
王燚
刘亿军
申请人：
申请人地址：
110179 辽宁省沈阳市浑南新区新源街1-1号三层
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
代理机构：
沈阳维特专利商标事务所(普通合伙) 21229
代理人：
李绪岩
法律状态：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-03-30 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/677 变更事项:专利权人 变更前:沈阳拓荆科技有限公司 变更后:拓荆科技股份有限公司 变更事项:地址 变更前:110179 辽宁省沈阳市浑南新区新源街1-1号三层 变更后:110179 辽宁省沈阳市浑南区水家900号 |
| 2015-12-30 | 授权 | 授权 |